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據(jù)調(diào)查數(shù)據(jù)顯示,2008年全球等離子表面處理設(shè)備總產(chǎn)值達(dá)到3000億元。但是,我們必須考慮為什么等離子表面處理技術(shù)在短短 20 年內(nèi)發(fā)展如此迅速。 (一)等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用等離子,即第四種物質(zhì)的狀態(tài),是由被剝奪了部分電子的原子和原子電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子所組成,是一種電離的氣態(tài)物質(zhì)。這種電離氣體由原子、分子、原子團(tuán)、離子和電子組成。

目前,等離子清洗系統(tǒng)降低反應(yīng)室內(nèi)的壓力,然后引入適當(dāng)?shù)臍怏w并開始以特定速率供電以獲得等離子體。那么真空等離子清洗設(shè)備為什么效果這么差呢?一起來分析一下。 1、電極對(duì)真空等離子清洗設(shè)備清洗效果的影響:電極的設(shè)計(jì)直接影響真空等離子清洗設(shè)備的清洗效果,主要是電極的材質(zhì)、布局和尺寸。

它粘附在電極板的空隙和空腔壁上。清潔方法:連續(xù)使用一定時(shí)間后,用蘸有酒精的干凈布(紙)清潔所有電極板和型腔壁,保持型腔壁清潔。 (2)工作人員在工作中利用觀察窗觀察真空等離子表面處理機(jī)腔內(nèi)的放電情況。使用氣體蝕刻后,觀察窗表面被微蝕刻,觀察窗模糊。清潔方法:清潔玻璃時(shí),請(qǐng)使用含有酒精或丙酮的干凈布(紙)。。小型石英等離子清洗機(jī)的安裝和操作步驟如下。

觀察窗用于工作人員在工作時(shí)觀察腔內(nèi)的排出情況。使用一段時(shí)間后,觀察窗表面會(huì)有輕微的侵蝕,使其模糊不清。處理方法:用干凈的布(紙)蘸酒精或丙酮清洗玻璃或直接更換真空玻璃。3、真空泵中使用的油為防止油氧化,及時(shí)更換有利于真空泵的正常工作,延長(zhǎng)泵體的使用壽命,建議每三個(gè)月更換一次,應(yīng)經(jīng)常觀察真空泵中油是否充足,若油位計(jì)指示的油位低于截止使用(明確標(biāo)示)時(shí),應(yīng)及時(shí)向正常油量注入新油。

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這種放電反應(yīng)器的主體結(jié)構(gòu)是密實(shí)的陶瓷(陶瓷管或陶瓷板),丙酮是親水性嗎在陶瓷內(nèi)埋設(shè)金屬板作為接地極。另一側(cè)是反應(yīng)器的散熱面。在中高頻電壓的作用下,放電從放電電極沿陶瓷表面延伸,在陶瓷表面形成許多細(xì)小的流動(dòng)通道。對(duì)苯、丙酮、氟氯烴等廢氣的處理結(jié)果表明,處理效果良好,適用于CHCL3、CFC-113等難降解有機(jī)物。但與其他放電方式相比,表面放電的功耗較大。對(duì)于甲苯,當(dāng)去除率達(dá)到85%時(shí),反應(yīng)器能耗約為400Wh/m3。