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2.脫殼數(shù)據(jù)外觀-物理效應(yīng)它主要利用等離子體中的離子、激發(fā)分子、自由基等多種活性粒子進(jìn)行純物理撞擊。將工件表面的原子或附著在工件表面的原子打掉，不僅去除了工件表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且產(chǎn)生蝕刻效應(yīng)，使工件表面粗糙，形成許多微坑洞，增加了工件表面的比表面積，提高了固體表面的濕功能。由于較低壓力下離子的均勻自由基較輕且較長(zhǎng)，得到能量的積累，所以在物理沖擊中，離子的能量越高，沖擊的能量就越多。

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