等離子體刻蝕是一種各向異性刻蝕工藝，東莞平板電暈處理可以保證刻蝕圖形的準(zhǔn)確性、對特定材料的選擇性和刻蝕效果的均勻性。在等離子體刻蝕中，基于等離子體作用的物理刻蝕和基于活性的刻蝕同時(shí)發(fā)生基團(tuán)作用化學(xué)蝕刻。等離子蝕刻從相對簡單的平板二極管技術(shù)起步，發(fā)展到價(jià)值數(shù)百萬美元的組合腔室，配備多頻發(fā)生器、靜電卡盤、外墻溫度控制器和專為特定薄膜設(shè)計(jì)的各種流量控制傳感器。可以蝕刻的電介質(zhì)是二氧化硅和氮化硅。
根據(jù)不同客戶的需求，片材平板電暈處理沖擊機(jī)公司成功開發(fā)了：OCA覆膜機(jī)、軟變硬覆膜機(jī)、軟變軟覆膜機(jī)等光電平板專用設(shè)備。等離子體表面處理器、等離子體處理器和大氣等離子體處理器廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代平板顯示器的生產(chǎn)過程。1.適用場合：適用于3.5~10.4英寸電容屏的OCA貼合。用于手機(jī)、平板電腦等電子產(chǎn)品觸摸屏隔膜、蓋板的自動(dòng)粘接。2.工作流程：手動(dòng)從周轉(zhuǎn)箱中取出蓋板，放入基板真空平臺，開始真空吸附。
8.半導(dǎo)體工業(yè)a.晶圓及晶圓制造：光致抗蝕劑去除；b.微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS):SU-8膠水的去除；c.芯片封裝：鉛墊清洗，東莞平板電暈處理倒裝底充，提高封膠粘接效果；D.失效分析：拆裝；e.電連接器、航空插座等。9.等離子體清洗機(jī)在太陽電池上的應(yīng)用太陽能電池的蝕刻，太陽能電池封裝的預(yù)處理。10.平板顯示器a.清潔活化ITO面板；B.去除光刻膠；c.清理國家場地(COG)。。
有些化學(xué)材料，東莞平板電暈處理如PP或其他化學(xué)材料是疏水或親水的，但也可以通過上述過程用等離子體清洗對材料表面進(jìn)行改性，提高其親水性或疏水性，便于下一步噴涂工藝。3.等離子清洗機(jī)具備在線生產(chǎn)能力，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。等離子清洗是一種極其環(huán)保的工藝，基本不受幾何形狀的限制。可處理粉末、小零件、片材、無紡布、紡織品、軟管、中空體、印刷電路板等表面。
平板電暈機(jī)
與其他清洗機(jī)相比，等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)如下：1.等離子體對處理后的制品無損傷，不改變材料特性。2.等離子不受產(chǎn)品幾何形狀限制，可用于粉末、零件、片材、紡織品、軟管、中空體、印刷電路板等。3.等離子體處理可實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)。4.等離子體工藝可靠性高，工藝安全，操作安全。5.具備上線生產(chǎn)能力、全自動(dòng)化的等離子處理器。6.血漿處理符合環(huán)保要求，對人體無害。。
3.等離子清洗機(jī)具備在線生產(chǎn)能力，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。等離子清洗是一種極其環(huán)保的工藝方法，完全不受多少形狀的限制，可以處理粉末、小零件、片材、無紡布、紡織品、軟管、中空體、印刷電路板等外觀，零件不會發(fā)生機(jī)械變化，是一種無損工藝；且滿足無塵室等苛刻條件，使用方便靈活，操作簡單，對各種形狀的零件處理效果明顯，工藝條件可控，成本低，效果好，時(shí)間短。處理后的產(chǎn)品外觀不會受到等離子處理溫度高低的影響，零件受熱較少。
我們的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于IC封裝、LED封裝、LCD貼片、元器件封裝、厚膜電路封裝、工程塑料表面處理等工藝。我公司生產(chǎn)的全自動(dòng)等離子清洗機(jī)，產(chǎn)品可靠性和良品率較傳統(tǒng)方法有明顯提升，功能和生產(chǎn)能力均優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備，性價(jià)比突出。
然而，在連續(xù)運(yùn)行中，可以檢測到細(xì)微但顯著的變化3為確保設(shè)備的正確運(yùn)行，我們建議每運(yùn)行6個(gè)月或0小時(shí)對電極進(jìn)行污染。使用以下工藝消除污染而不影響電極的性能。材料要求氫氧化鈉硫酸蒸餾水注：這些材料具有腐蝕性、毒性和危險(xiǎn)性。只有經(jīng)過適當(dāng)培訓(xùn)、具有適當(dāng)安全預(yù)防措施的人員才能處理。不要使用任何機(jī)械清潔電極，如鋼絲刷、砂紙或磨料噴丸，這將導(dǎo)致泄漏和/或縮短其壽命。
平板電暈機(jī)
等離子體表面處理設(shè)備噴嘴電極組件溫度控制模塊一種用于半導(dǎo)體材料等離子體處理室的噴嘴電極組件的溫度控制模塊，平板電暈機(jī)包括：加熱板，適于固定在噴嘴電極組件的頂電極的頂表面上，并向頂電極提供熱量以控制頂電極的溫度；冷卻板，適于固定到噴嘴電極組件的頂板的表面并與之絕緣，并且冷卻加熱板和控制頂部電極和加熱板之間的熱傳導(dǎo)；以及至少一個(gè)熱阻器，其適于控制加熱板和冷卻板之間的熱傳導(dǎo)。
