13.56MHz等離子體電場中的頻率振蕩較高，射頻等離子清洗機價位相對于40KHz射頻等離子而言電子在轉(zhuǎn)變方向之前的運動距離更短。這意味著在每個運動周期中能夠到達器件表面的粒子數(shù)量更少，因此表面受到粒子撞擊減少，從而降低了清洗的效率和效果，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。40KHz射頻等離子體是最廣泛使用和通用性好的等離子體技術(shù)，它應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、醫(yī)療和通用工業(yè)的寬廣領(lǐng)域內(nèi)。

當(dāng)電流相同時，河南射頻等離子清洗機價位射頻等離子體鞘和等離子體區(qū)的分布比例基本相同。當(dāng)電流密度為0.06A/cm2時，當(dāng)放電間隙逐漸增大時，實驗和計算都表明鞘層開始逐漸增大，而當(dāng)極板間隙增大到500μm時，鞘層厚度基本保持在215μm以內(nèi)保持不變。對等離子區(qū)的厚度來說，從 μm到900μm都是單調(diào)增加的。

該裝置放棄了大面積均勻性的要求，河南射頻等離子清洗機價位在直徑2mm的范圍內(nèi)，采用CF()/He作為放電氣體和70W的射頻功率，在硅片上本得了5nm/s的刻蝕速率。這種裝置可以認為是n-TECAPPJ所用裝置的前身。由于其消耗的平均功率非常小，所產(chǎn)生的等離子體射流對環(huán)境以及被處理材料表面幾乎沒有什么熱效應(yīng)，因此可以將其稱為“冷等離子體射流”。

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三、電漿清洗機適用行業(yè) 制藥、印染、制造、化工、化纖等行業(yè)在運作過程中會產(chǎn)生大量揮發(fā)性有(機)污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒法等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用電漿清洗機處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。

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PCB & FPC 行業(yè)解決方案-等離子清洗 PCB & FPC 專業(yè)應(yīng)用1、多層柔性板去除殘留物：適用于環(huán)氧樹脂膠（EPOXY）、亞克力膠（Acryl）等膠粘系統(tǒng)。與化學(xué)溶液相比，它更穩(wěn)定、更完整，可以顯著提高產(chǎn)量。 2.軟板、硬板除膠：徹底去除浮渣，避免高錳酸鉀溶液對軟板PI的侵蝕，均勻腐蝕孔壁，提高孔鍍層的可靠性和良率。

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