它的機理是：在低壓下，上海高附著力樹脂廠家電話由ICP射頻電源向環(huán)狀耦合電磁線圈輸出，通過耦合電弧放電，混合刻蝕汽體通過耦合電弧放電，產生致密的等離子體，在下電極RF作用下，在基片表面躍遷，基片圖形區(qū)域內的半導體器件的離子鍵被打斷，與刻蝕汽體產生揮發(fā)性物質，將汽體從基片中分離出來，抽離真空管。同樣條件下，氧氣等離子體清理比氮氣等離子體清理效果更好。
真空離子吸塵器是將兩個電極真空形成電磁場，高附著力玻璃鋼油漆用真空泵實現的真空度,氣體越來越薄,分子之間的距離和自由流動的分子之間的距離或郭也越來越長,磁場效應,碰撞和等離子體形成,發(fā)光會發(fā)生同時,等離子體空間電磁場中的運動,和轟擊處理過的表面，去除表面油和表面氧化物，灰化表面有機物等化學物質，實現表面處理，清洗和蝕刻，選擇性表面改性通過等離子體處理過程。工作過程:真空等離子吸塵器由反應室、電源和真空泵組組成。
現在國內的等離子清洗機技術近年來已經越來越成熟，高附著力玻璃鋼油漆這也為進一步研究開發(fā)新的應用提供了足夠的空間，如隨著國內對等離子清洗機的需求越來越多，普通的等離子清洗機已經無法滿足生產的需要，所以在參考國外等離子清洗機設備并結合現代流水線的需要后，所以出現了在線等離子清洗機。在線等離子清洗機實際上是由多臺獨立的等離子清洗機組成，形成自動化的運行方式，配合流水線的使用，可以進行上下游生產流程。
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1、環(huán)保技術：等離子作用工藝為氣固相干反應，消耗水資源，不需添加化學品 2、效率高：整個過程可在短時間內完成 3、成本低：裝置簡單，操作維護方便，少量氣體代替昂貴的清洗液（等離子表面處理），無廢液處理費用 4. 更精細的處理：滲透到細孔和凹痕中，即可完成清洗工作。 5、適用性廣：等離子表面處理技術可以處理大多數固體。
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