由于速度較慢,等離子推進器原理圖當板材沿厚度方向受熱時,其頂面和底面將一起處于塑性狀態(tài)。板的正面先受熱,板的背面受熱時先膨脹,使板產(chǎn)生很小的反向彎曲變形。由于加熱速度較慢,來自正面的熱量緩慢地傳遞到背面,導致正面和背面之間的溫度梯度非常小。在相對較大的受熱區(qū)域,材料隨著溫度的升高繼續(xù)熱膨脹,相鄰區(qū)域的冷材料需要限制膨脹,從而導致受熱區(qū)域的整體壓縮更大。

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置于腔室中的基板表面一般具有羥基或氫端反應活性位點,基板表面銅前驅(qū)體的飽和化學吸附量如下?;顒诱军c的內(nèi)容和密度密切相關(guān)。隨著沉積循環(huán)次數(shù)的增加,基板表面的粗糙度緩慢增加,在實驗開始時基板表面出現(xiàn)沉積,表明在初始生長階段沒有生長延遲,但在 10 內(nèi)沉積是連續(xù)的循環(huán),沒有得到銅膜。

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