其原理是利用高頻高壓在處理后的塑料外表面電暈放電（高頻通信電壓高達(dá)5000-15000V/m2)，多巴胺表面改性原理發(fā)生低溫等離子體，塑料外部與自由基反應(yīng)，使聚合物交聯(lián)。外部粗化，增加其對(duì)極性溶劑的潤(rùn)濕性--這些離子通過電擊和滲透到印刷體外部，破壞印刷體的分子結(jié)構(gòu)，從而使處理后的表面分子氧化極化，通過離子電擊腐蝕表面，以增加基板表面的粘附能力。

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這種電離氣體是由原子，多巴胺表面改性原理分子，原子團(tuán)，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實(shí)現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆。根據(jù)等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實(shí)現(xiàn)對(duì)物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實(shí)現(xiàn)了對(duì)物體處理的多樣化。因低溫等離子體對(duì)物體表面處理的強(qiáng)度小于高溫等離子體，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)處理物體表面的保護(hù)作用，應(yīng)用中我們使用的多為低溫等離子體。

采用電漿清洗機(jī)中的活性自由基使材料表面通過肝素化或接枝抗栓官能團(tuán)，聚多巴胺表面的快速改性來增加材料表面有效地化學(xué)鍵結(jié)合。材料表面改性的效(果)由一系列的因素決定，這些因素包括材料基底的選取、抗血栓涂料的成分構(gòu)成和改性后的材料是用壽命。

多巴胺表面改性原理

PTFE微孔板薄膜的使用范疇不斷拓展，可以預(yù)見等離子表層徹底解決PTFE微孔板薄膜技術(shù)也會(huì)逐漸獲得應(yīng)用推廣。。等離子表面改性會(huì)產(chǎn)生幾種改變等離子表面改性是等離子資料和其他資料表面相互作用的進(jìn)程，這其間設(shè)計(jì)到等離子化學(xué)以及等離子物理兩個(gè)作用進(jìn)程。

在等離子體對(duì)資料外表改性中，因?yàn)榈入x子體中活性粒子對(duì)外表分子的效果，使外表分子鏈斷裂產(chǎn)生新的自由基、雙鍵等活性基團(tuán)，隨之發(fā)作外表交聯(lián)、接枝等反響。反響型等離子體是指等離子體中的活性粒子能與難粘資料外表發(fā)作化學(xué)反響，然后引入很多的極性基團(tuán)，使資料外表從非極性轉(zhuǎn)向極性，外表張力提高，可粘接性增強(qiáng)。

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但經(jīng)傳統(tǒng)濕法處理后的SiC表面存在著殘留有C雜質(zhì)和表面容易被氧化等缺點(diǎn)，使得在SiC上不容易形成優(yōu)良的歐姆接觸和低界面態(tài)的MOS結(jié)構(gòu)，這嚴(yán)重影響了功率器件的性能。plasma清洗機(jī)等離子體增強(qiáng)金屬有機(jī)物，化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)可以在低溫下產(chǎn)生低能離子和高電離度高濃度高活化高純氫等離子體，使得在低溫下除去C或OH-等雜質(zhì)離成為了可能。

聚多巴胺表面的快速改性

&mdash；等離子體表面治療儀在表面處理過程中，多巴胺表面改性原理在放電蒸氣中加入化學(xué)反應(yīng)蒸氣，在活化材料表面發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)。該工藝能在材料表面產(chǎn)生新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，它們是一些能顯著提高材料表面活性的活性基團(tuán)。等離子體表面處理儀器具有大量的離子、激發(fā)態(tài)分子和許多活性粒子，如自由基等，會(huì)作用于樣品表面，并能去除樣品表面原有的污染物和雜質(zhì)。

與之相伴隨的接觸孔蝕刻技術(shù)的發(fā)展，多巴胺表面改性原理65nm/55nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)之前均為光刻膠掩膜的氧化硅材料蝕刻，90nm時(shí)的接觸孔蝕刻的步驟順序?yàn)橄热コ庾柙傥g刻開接觸孔停止層，而65nm/55nm時(shí)使用先蝕刻開接觸孔停止層去除光阻的步驟順序。由于90nm和65nm/55nm器件對(duì)關(guān)鍵尺寸的要求，基本不需要蝕刻工藝對(duì)接觸孔的尺寸進(jìn)行收縮。