官能團(tuán)的極性增加。
CH4 + E * & MDASH;> CH3 + H + E (3-1) CH3 + E * & MDASH;> CH2 + H + E (3-2) CH2 + E * & MDASH;> CH + H + E (3-3) CH + E * & MDASH;> C + H + E (3-4) CH4 + E * & MDASH;> CH2 + 2H (H2) + E (3-5) CH4 + E * & MDASH;> CH + 3H (H2 + H) + E (3-6) CH4 + E * & MDASH; C + 4H (2H2) + E (3-7) 自由基和下一個產(chǎn)品 A 之間的耦合發(fā)生反應(yīng)。
測得的缺陷形成率是施加到柵極氧化物的電壓的冪函數(shù)。因此,氬氣等離子體清洗設(shè)備故障時間與電壓的關(guān)系為TF = B0V-n (7-12)。如果氧化層足夠薄,缺陷形成率與氧化層厚度無關(guān),但臨界缺陷密度會導(dǎo)致氧化層斷裂。它強(qiáng)烈依賴于氧化層。層厚度。對于low-k材料TDDB,也有對應(yīng)的root E模型。將不同模型的擬合曲線與同一組加速 TDDB 測試數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。
當(dāng)水滴放置在光滑的固體表面上時,氬氣等離子體除膠機(jī)水滴在基材上擴(kuò)散,完全濕潤時,接觸角接近于零。相反,如果潤濕是局部的,則接觸角可以平衡在 0 到 180 度之間。固體基質(zhì)的表面能對液體表面張力的影響越大,其潤濕性越高,接觸角越小。為了使液體與材料表面形成良好的結(jié)合,材料的液體張力應(yīng)大于約2-10 mN/m。此類高分子材料具有化學(xué)惰性、低摩擦系數(shù)、高耐磨性、抗穿刺性和抗撕裂性。
氬氣等離子體除膠機(jī)
噴漆后,將塑料件的油漆層切割成網(wǎng)格。接下來,將量規(guī)膠帶粘貼到切割好的網(wǎng)格上,牢固地粘貼膠帶,然后再次將其撕下。如果膠帶上有油漆,則油漆粘得不好。切割網(wǎng)格以顯示塑料零件上油漆層的粘合強(qiáng)度。使用測試墨水來估計如何測量表面能。將測試墨水涂在表面后,如果將其存儲在一個地方,則固體的表面能較低。談到油墨的表面能,如果保持濕潤,固體的表面能將大于液體的表面能??梢允褂靡幌盗芯哂刑荻缺砻嫣匦缘臏y試油墨來確定固體的總表面張力。
氬氣等離子體清洗設(shè)備
等離子體去膠機(jī),等離子體去膠機(jī)原理