當(dāng)壓力小于 帕?xí)r,北京常壓真空等離子表面處理機(jī)廠家報(bào)價(jià)多少錢氣體被電場(chǎng)部分電離,這種等離子體有一些顯著的特征:    1) 氣體產(chǎn)生輝光現(xiàn)象,常稱為“輝光放電”。由于是真空紫外光,其對(duì)蝕刻率有十分積極的影響;    2)氣體中包含中性粒子、離子和電子。由于中性粒子和離子溫度介于102—103K,電子能量對(duì)應(yīng)的溫度高達(dá)105K,它們被稱為“非平衡等離子體”或“冷等離子體”。

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