等離子預處理可以去除表層的油脂和灰塵，硝基清漆附著力賦予材料高表面能。等離子預處理技術的清潔作用去除了表層的油脂，等離子的靜電引力去除了粘附在表層的塵粒，化學變化增加了表層的能量。這些層次的綜合作用使等離子預處理工藝成為一種高效的專用工具。在正常情況下，不需要額外的清洗工藝或使用等離子預處理的底漆處理。。等離子清洗技術在蝕刻工藝中的應用概述等離子清洗的應用始于20世紀初。隨著高新技術產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，其應用也越來越廣泛。

顯然，硝基清漆在鐵上的附著力雜散電位為負，在雜散襯底與等離子體的界面處形成了陽離子的空間電荷層。因此，所有絕緣體，包括放置在等離子體中的反應器壁，形成離子鞘（如圖 1-3 所示）：圖 1-3 浮動底物離子鞘等離子鞘，等離子一，是等離子體鞘的具體性能與系統(tǒng)溫度T和粒子密度n密切相關。通過研究鞘層可以理解等離子體的一些重要特性。。

轉瓶等離子清洗設備在實際應用中經(jīng)常使用不同的工藝氣體，硝基清漆在鐵上的附著力產(chǎn)生的等離子體中含有大量的活性粒子和高能粒子，這些粒子與固體材料表面的相互作用對于等離子體本身或固體材料來說都具有重要意義。 轉瓶等離子清洗設備中的粒子將能量轉移到固體材料的表面，同時等離子體帶走大量雜質。

3、電弧放電區(qū)域： 在電流超過10-1安、氣壓也較高時，硝基清漆附著力正柱區(qū)產(chǎn)生的焦耳熱大于顆粒擴散帶向壁內的散熱，使正柱區(qū)中心溫度升高，氣體電導率增大，使電流集中在正柱區(qū)中心，形成不穩(wěn)定的收縮。導電正柱會縮成一個具有較高溫度和較高電流密度的電弧，即弧光放電。電流密度為104~106安/厘米，在陰極上形成“陰極斑”，根據(jù)熱電子發(fā)射(熱陰極)或場致發(fā)射(冷陰極)的機理，放出電子。

硝基清漆在鐵上的附著力

1.3金屬半導體工藝中常見的金屬雜質有鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦、鈉、鉀、鋰等，這些雜質的來源主要包括各種器皿、管材、化學試劑，以及半導體晶圓加工過程中發(fā)生的各種金屬污染。這類雜質的去除常采用化學方法進行。由各種試劑和化學藥品配制的清洗液與金屬離子反應形成金屬離子絡合物，從晶圓表面分離出來。1.4氧化物暴露在氧氣和水中的半導體晶片表面會形成自然氧化層。

硝基清漆附著力