等離子去膠機(jī) 135L

產(chǎn)品型號 JL-RR12
產(chǎn)品類別 等離子去膠機(jī)
應(yīng)用范圍
對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

對電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基光刻膠去除。適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠、活化、刻蝕、清洗、鍍膜。

型號	JL-RR12
等離子源系統(tǒng)	頻率		13.56MHz 射頻
	功率		0~1000W可調(diào)
			選配
真空系統(tǒng)	真空腔體	材質(zhì)	316L不銹鋼、航空鋁（選配）
		腔體內(nèi)部尺寸	360800650（寬高深(MM))
		腔體容積	135L
		處理最大尺寸	12英寸
		密封性	軍工級焊接密封
	泵	真空泵	油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）
		真空管路	不銹鋼管、不銹鋼波紋管
	真空計		1×105~1×10-1Pa
	質(zhì)量流量計		＜±1% FS
	氣路控制		2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)
	極限真空		5Pa
適用氣體	流量范圍		0-500SCCM（可調(diào)）
	工藝氣體		Ar、N?、O?、H?等等（可選）
控制系統(tǒng)	1、PLC 自動控制；
	2、7寸觸摸屏,圖形用戶界面；
	3、配方程序為 0~99；
	4、多級權(quán)限操作；
	5、圖形化曲線圖自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)及錯誤信息；
	6、存儲工藝數(shù)據(jù)及錯誤信息；
	7、報警信息提示及追溯；
	8、圖形化界面檢測處理參數(shù)；
	9、自動、手動操作可切換；
	10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；
	11、門感應(yīng)器和真空互鎖；
	12、機(jī)器運行信號指示；
	13、機(jī)器運行結(jié)束提示；
外觀參數(shù)	外形尺寸(MM)		6401700840(寬高深）
	重量		280KG
設(shè)施配置	電力		五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定
	壓縮空氣		干燥壓縮空氣CDA
	其它		提供操作手冊、維護(hù)手冊、安裝手冊，易損件備件清單.
質(zhì)保、售后服務(wù)和技術(shù)支持	質(zhì) 保		一年免費的維保和備件免費更換
	技術(shù)支持		接到設(shè)備故障通知1個小時內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對遠(yuǎn)程無法定位解決的問題，提供現(xiàn)場維修服務(wù)
	培訓(xùn)		設(shè)備正式試用前，提供完整、免費的技術(shù)培訓(xùn)