在高頻放電電路中，大功率電暈機(jī)傳統(tǒng)的方法是在高頻放電電路與等離子體腔、電極之間架設(shè)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，并根據(jù)不同電離條件進(jìn)行調(diào)節(jié)，使高頻發(fā)生器輸出阻抗與負(fù)載阻抗匹配，從而使等離子體電離穩(wěn)定，工作效率高。影響等離子清洗機(jī)匹配效果的幾個(gè)主要因素。與等離子體發(fā)生器的匹配類似，等離子體清潔器的匹配也必須相互匹配，不能用低功率匹配來(lái)適應(yīng)大功率等離子體發(fā)生器。此外，為獲得理想的等離子清洗機(jī)匹配效果，還應(yīng)注意以下幾點(diǎn)。
寬禁帶半導(dǎo)體代表了一個(gè)新的發(fā)展方向，6kw大功率電暈機(jī)將廣泛應(yīng)用于短波長(zhǎng)激光器、白光發(fā)射管、高頻大功率器件等領(lǐng)域。納米電子器件有可能作為下一代半導(dǎo)體微電子學(xué)和光電子器件；利用單電子、單光子和自旋器件作為量子控制，將在量子計(jì)算和量子通信的實(shí)際應(yīng)用中發(fā)揮關(guān)鍵作用。晶體管的發(fā)明1945年二戰(zhàn)結(jié)束時(shí)，美國(guó)貝爾實(shí)驗(yàn)室總裁巴克萊為了滿足室從戰(zhàn)時(shí)到和平時(shí)期的工作需要，決定成立固體物理學(xué)組。
寬禁帶半導(dǎo)體代表了一個(gè)新的發(fā)展方向，大功率電暈機(jī)將廣泛應(yīng)用于短波長(zhǎng)激光器、白光發(fā)射管、高頻大功率器件等領(lǐng)域。納米電子器件有可能作為下一代半導(dǎo)體微電子學(xué)和光電子器件；利用單電子、單光子和自旋器件作為量子控制，將在量子計(jì)算和量子通信的實(shí)際應(yīng)用中發(fā)揮關(guān)鍵作用。半導(dǎo)體發(fā)展史1半導(dǎo)體是信息化的基礎(chǔ)。
等離子清洗時(shí)，大功率電暈機(jī)等離子火焰看起來(lái)與普通火焰相似。而且等離子清洗機(jī)如果使用中頻電源，功率大，能量猛，不用水冷溫度也相當(dāng)高。如果清洗后的物料不耐溫，就要注意溫度。等離子體清洗機(jī)常用的電源有兩種，一種是13.56kHz射頻電源，產(chǎn)生的等離子體密度高、能量軟、溫度低。
大功率電暈機(jī)
高溫等離子體采用40kHz中頻電源，功率可做得很高，中頻電源功率可達(dá)數(shù)萬(wàn)伏，但在實(shí)踐中，一般不需要做這么高的功率。蝕刻一般采用大功率的等離子清洗機(jī)，還會(huì)增加水冷系統(tǒng)。低溫等離子體使用較多，用于低溫等離子體的13.56khz射頻電源很低。射頻電源的功率一般不是很大，Z大射頻電源也可以是5kW。低溫等離子體的溫度與正常氣候相似。根據(jù)等離子體的情況平衡等離子體：氣體壓力高，電子溫度大致等于氣體溫度的等離子體。
我國(guó)等離子體電源主要有兩種，13.56khz射頻電源和40khz中頻電源，其他電源很少使用。射頻等離子體功率軟而細(xì)，溫度低，最大功率可達(dá)2kW，用于處理一些精細(xì)的材料非常合適。中頻等離子體正好相反。等離子體沒(méi)有那么致密，但強(qiáng)度強(qiáng)、溫度高、功率大。通常用于蝕刻和去除膠渣。
等離子體表面處理除膠等離子體清洗機(jī)的基本原理及應(yīng)用；1）脫膠反應(yīng)原理：氧氣是干膠脫除中腐蝕性氣體的主要成分。采用高頻、微波能弱電解質(zhì)進(jìn)行表面處理和等離子清洗機(jī)除膠。氧離子、游離氧分子O、氧原子和電子混合物在高頻工作電壓下與光刻薄膜發(fā)生反應(yīng):O2-Rarr；O*+O*,CxHy+O*&Rarr；CO2&UARR；+H2O&UARR；反應(yīng)完成后，CO2和H2O被除去。
在平行板反應(yīng)器中，反應(yīng)等離子體刻蝕腔選擇小陰極面積和大陽(yáng)極面積的非對(duì)稱方案，待刻蝕物放置在面積較小的電極上。在進(jìn)行等離子體刻蝕操作時(shí)，射頻電源產(chǎn)生的熱量使質(zhì)量小、移動(dòng)速度快的負(fù)電荷自由電子快速到達(dá)陰極，而正離子由于質(zhì)量大、速度慢，難以同時(shí)到達(dá)陰極。然后，在陰極附近會(huì)形成帶負(fù)電荷的鞘層。
大功率電暈機(jī)
我們還可以根據(jù)使用單元生產(chǎn)線的具體要求，大功率電暈機(jī)將系統(tǒng)與生產(chǎn)線進(jìn)行匹配，無(wú)論是新線還是老線都可以滿足。問(wèn)：等離子清洗機(jī)在處理過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生污染嗎？答：等離子表面處理是一種“干凈”的處理工藝。只要在處理過(guò)程中由于電離空氣而產(chǎn)生少量臭氧O3，在一些數(shù)據(jù)處理過(guò)程中就會(huì)分解出少量氮氧化物，因此應(yīng)配備排氣系統(tǒng)。問(wèn)：等離子清潔器需要特殊氣體嗎？答：除壓縮空氣外，在線辦理過(guò)程中不需要其他特殊氣體。
它可以完全打破有機(jī)大分子的化學(xué)鍵，6kw大功率電暈機(jī)形成新的鍵，但遠(yuǎn)低于高能放射線，只涉及材料表面，不影響基體的性質(zhì)。。等離子清洗機(jī)清洗的九大優(yōu)點(diǎn)：等離子體清洗機(jī)是一項(xiàng)高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫物質(zhì)的第四狀態(tài)。施加足夠的能量使氣體電離，就變成了等離子體狀態(tài)。
