低溫等離子技術中的物質(zhì)呢?一個中性原子、分子結(jié)構或一組原子,等離子體刻蝕機縮寫其電子處在高運動狀態(tài),其電子處在活動狀態(tài);原子和分子結(jié)構的離子開花;分子結(jié)構解離反應中形成的紫外線;未反應的分子結(jié)構、原子等,總體上保持電荷平衡?,F(xiàn)階段,真空等離子清洗機的運用越來越普遍。

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表 6.1 一般氣體分類及基本特性氣體類型中文名英文名英文縮寫采用特征惰性氣體氮氮N2稀釋穩(wěn)定的氬氣氬氣氬氦海倫他還原氣氫氫H2減少易燃易爆氧化氣體氧氧02 02氧化燃燒支持2.特殊氣體等離子清潔器專用氣體是一種由于供應量相對較低而不能立即使用的氣體。盡管這些氣體通常相對活潑、有毒且具有腐蝕性,但在使用這些特殊氣體時應格外小心,因為它們是某些集成電路制造工藝步驟中必不可少的材料來源。

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