辨別真空等離子清洗機(jī)正負(fù)電極板的方法一般來說工業(yè)生產(chǎn)中所使用的真空等離子清洗機(jī)常常會(huì)使用容性耦合（CapcitvielyCoupledPlasma，CCP）射頻放電來產(chǎn)生等離子體，其放電結(jié)構(gòu)如圖1-1所示，由兩部分組成：放電腔室和兩塊金屬電極，一塊極板需要牢固的接地，另一塊極板經(jīng)匹配器連接到等離子體源上，這就組成了平行板式容性耦合等離子體，這種結(jié)構(gòu)的原型最早出現(xiàn)在20世紀(jì)70年代。當(dāng)電源接通后,放電腔內(nèi)的兩平板電極組成的電容結(jié)構(gòu)之間產(chǎn)生高頻電場(chǎng)，電子在電場(chǎng)的作用下被賦能，做快速的往復(fù)運(yùn)動(dòng)，激發(fā)原子放電。由于電子的平均自由程要比放電腔室的尺寸大得多，這些電子會(huì)轟擊在極板上并產(chǎn)生二次電子發(fā)射，從而獲得電子倍增，這些金屬極板上產(chǎn)生的二次發(fā)射電子將穩(wěn)定地維持這種放電并起主要作用，而由氣體電離所產(chǎn)生的二次發(fā)射電子起次要作用。
圖 1-1 容性耦合等離子體放電裝置我們所看到的真空等離子清洗機(jī)一般里面會(huì)有很多對(duì)電極板，這是因?yàn)槎鄬?duì)放電極板不僅提高等離子體的均勾性，還成倍的增加了基片的裝載量，可大大提高產(chǎn)能，尤其適用于實(shí)際生產(chǎn)中，具有廣泛的應(yīng)用前景。那么怎么分辨電極板的正負(fù)呢？下面為大家簡(jiǎn)單介紹一下，辨別真空等離子清洗機(jī)電極板正負(fù)的方法。
辨別真空等離子清洗機(jī)正負(fù)電極板的方法如下：
我們打開真空等離子清洗機(jī)的反應(yīng)倉(cāng)，會(huì)發(fā)現(xiàn)里面安裝有若干電極板(亦有樣品托盤的作用)。那么哪個(gè)是正極板，哪個(gè)是負(fù)極板呢。一般來說在真空等離子清洗機(jī)反應(yīng)倉(cāng)的后部安裝有兩個(gè)銅電極，其中左邊為負(fù)極，右邊為正極。每個(gè)電極條上有輸出端與倉(cāng)體側(cè)壁的鋁支撐對(duì)應(yīng)。電極板能夠充當(dāng)反應(yīng)電極是建立在其上面的插頭與對(duì)應(yīng)銅電極相連接實(shí)現(xiàn)的，電極條選擇插入左邊或者右邊能夠決定該電極板為正極或者為負(fù)極。一般真空等離子清洗機(jī)提供的清洗模式為直接等離子體模式。采用正、負(fù)電極相間隔放置的模式稱為直接等離子體模式，這種模式的配置下所有的正負(fù)離子都會(huì)在兩電極板流通而過且不會(huì)被彼此隔離，屬于較強(qiáng)轟擊性的方式。待清洗的物體可放在正極板上也可放在負(fù)極板上。辨別真空等離子清洗機(jī)正負(fù)電極板的方法00224815