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此外，由于銅擴(kuò)散正阻擋層的引入，在通孔底部與下墊金屬交界處分離出金屬阻擋層TaN。一般來(lái)說(shuō)，鋁互連層表面覆蓋一層氧化膜Al2O3，該氧化膜與鋁體具有很強(qiáng)的結(jié)合能，所以鋁的電遷移主要是沿晶界進(jìn)行的。當(dāng)線寬變小，竹節(jié)結(jié)構(gòu)出現(xiàn)時(shí)，晶格遷移成為主要機(jī)制。然而，Cu表面的氧化物CuO與Cu基體之間的結(jié)合相對(duì)較差，該界面為銅離子的遷移提供了較高的遷移率通道。

2、對(duì)于覆膜彩盒，用刀劃線法，或者在覆膜的時(shí)候把活的位置弄出來(lái)，再加上高質(zhì)量的膠水，也是比較有效的，但不是一個(gè)好辦法。因?yàn)橥坎挤椒ㄊ沟眯『挟a(chǎn)品的生活方式不可用，刀片也會(huì)出現(xiàn)工藝問(wèn)題，增加刀片成本等。

鍍鎳的原因是金與銅之間會(huì)發(fā)生擴(kuò)散，而鎳層可以阻止金與銅之間的擴(kuò)散;沒(méi)有鎳層，金會(huì)在數(shù)小時(shí)內(nèi)擴(kuò)散到銅中?；瘜W(xué)浸出鎳/金的另一個(gè)好處是鎳的強(qiáng)度，它只有5微米厚，可以限制高溫下的z向膨脹。此外，化學(xué)鍍鎳/浸金也可以防止銅的溶解，有利于無(wú)鉛裝配。化學(xué)鍍鎳/金浸出工藝的一般工藝流程為:酸洗→微蝕→預(yù)浸→活化→化學(xué)鍍鎳→化學(xué)浸金。化學(xué)品罐主要有6個(gè)，涉及的化學(xué)品幾乎多種多樣，過(guò)程控制困難。

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