這些都會(huì)導(dǎo)致電路的長(zhǎng)期可靠性得不到保證。等離子體是由正離子、負(fù)離子、自由電子等帶電粒子和激發(fā)態(tài)分子、自由基等不帶電中性粒子組成的部分電離氣體。因?yàn)樗恼?fù)電荷總是相等，煙臺(tái)免電暈處理油墨價(jià)格所以叫等離子體。一些非聚合無(wú)機(jī)氣體(Ar、N2、O2等）在高頻低壓下激發(fā)產(chǎn)生含有離子、激發(fā)分子和自由基的等離子體。通過等離子體轟擊，可以解吸襯底和芯片表面的污染物，有效去除鍵合區(qū)的污染物，提高鍵合區(qū)表面的化學(xué)能和潤(rùn)濕性。
等離子體作用于材料表面，電暈處理機(jī)靜電消除機(jī)使表面分子的化學(xué)鍵重新結(jié)合，形成新的表面特性。對(duì)于一些特殊材料，等離子清洗機(jī)的輝光放電不僅增強(qiáng)了這些材料在超級(jí)清洗過程中的附著力、相容性和潤(rùn)濕性。等離子體清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微流體等領(lǐng)域。。
處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)有以下幾種：高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子；未反應(yīng)的分子、原子等，電暈處理機(jī)靜電消除機(jī)但物質(zhì)作為一個(gè)整體保持電中性。在真空室內(nèi)通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無(wú)序等離子體，用等體子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達(dá)到清洗的目的。
不同等離子體的自偏壓不同，煙臺(tái)免電暈處理油墨價(jià)格超聲等離子體的自偏壓在0V左右，射頻等離子體的自偏壓在250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子體的機(jī)理不同。超聲等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)，射頻等離子體的反應(yīng)是物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體的反應(yīng)是化學(xué)反應(yīng)。超聲等離子體清洗對(duì)被清洗表面影響較大，因此在實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中多采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。
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材料需要活化（化學(xué)），改性材料需要用13.56MHz或20 MHz等離子體清洗，40kHz的自偏壓約為1000伏，13.56MHz的自偏壓約為250V，20 MHz的自偏壓更低，這三種不同激發(fā)速率的體系是不同的。
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