正是低溫等離子體的這種非熱力學(xué)平衡現(xiàn)象，提高與高分子材料的附著力帶來(lái)了等離子體處理技術(shù)的多樣性，這種多樣性可以從高分子資料的外表活化一直到半導(dǎo)體離子注入等一系列運(yùn)用中看出。等離子體處理技術(shù)在許多制作業(yè)中得到運(yùn)用，特別是在汽車(chē)、航空及生物醫(yī)用部件的外表處理方面。因?yàn)闇p少了有毒液體的運(yùn)用，等離子體技術(shù)在環(huán)保上顯示出優(yōu)越性。同時(shí)，因?yàn)榧嫒菁{米制作，等離子體技術(shù)在大規(guī)模工業(yè)制作中也具有優(yōu)勢(shì)。

O2+CF4=O+OF+CF3+C0+COF+F+E等離子體與高分子材料發(fā)生反應(yīng)（常用的高分子材料：C，高分子材料的附著力H，O，N）C，H，O，N+O+OF+CF3+C0+COF+F+E=CO2+H2O+NO2+.....等離子去有機(jī)物:大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，然后由真空泵將污染物抽走去除。。

一些非高分子無(wú)機(jī)氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發(fā)，提高與高分子材料的附著力產(chǎn)生含有離子、激發(fā)分子、自由基等的各種活性粒子。一般來(lái)說(shuō)，在等離子清洗中，活性氣體可以分為兩類(lèi)。一種是惰性氣體（Ar2、N2 等）的等離子體，另一種是反應(yīng)氣體（O2、H2 等）的等離子體。。

經(jīng)等離子清洗后器件表面是干燥的，提高與高分子材料的附著力不需要再處理，可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；可以使操作者遠(yuǎn)離有害溶劑的傷害；等離子可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物件的形狀；還可以處理各種材質(zhì)，尤其適合不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。這些優(yōu)點(diǎn)，都使等離子體清洗得到廣泛關(guān)注。物理化學(xué)反應(yīng)同時(shí)存在的清洗反應(yīng)中物理反應(yīng)與化學(xué)反應(yīng)均起重要作用的 清洗。

高分子材料的附著力

等離子體可以通過(guò)從高頻激發(fā)的微波或熱射線發(fā)射的高能電子沖擊電離產(chǎn)生。這些低壓等離子體充滿了整個(gè)處理空間，含有大量的活性原子并提高了氮化效率。在射頻等離子滲氮中，等離子的產(chǎn)生和電路板偏壓是分開(kāi)控制的，因此離子能量和到電路板表面的通量可以分開(kāi)控制。由于工作氣壓相對(duì)較低，耗氣量會(huì)相應(yīng)減少（減少）。在自由基氮化過(guò)程中，低能直流輝光放電產(chǎn)生可用于氮化的NH自由基。整個(gè)過(guò)程，就像氣體氮化一樣，需要外部電源來(lái)加熱工件。

這些離子和氧自由基相互碰撞,被電場(chǎng)加速,相互碰撞,和材料表面層強(qiáng)烈破壞原始的分子結(jié)構(gòu)之間的融合方式幾微米深度,除了孔的深度相應(yīng)的表層材料,產(chǎn)生微小的凹凸，并將混合氣體組成成活性官能團(tuán)(或官能團(tuán))，可誘導(dǎo)表面層發(fā)生物理化學(xué)變化，去除鉆孔污染，提高鍍銅結(jié)合力。在等離子體清洗機(jī)中等離子體的化學(xué)反應(yīng)中，活性粒子主要是正離子和氧自由基。氧自由基在化學(xué)反應(yīng)中起著積極的(化學(xué)的)能量轉(zhuǎn)移作用。

所謂非反應(yīng)型，是指等離子體中的自由基和離子不與材料表面發(fā)生反應(yīng)，只起激發(fā)自由能的作用，材料需要與空氣接觸，從而引起表面化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化。反應(yīng)性是指等離子體中的自由基或離子直接與材料表面相互作用，連接形成新的官能團(tuán)。等離子體的親水改性可以提高高分子材料的附著力。

所謂非反應(yīng)型，是指等離子體中的自由基和離子不與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，只起激發(fā)自由能的作用。這需要材料與空氣接觸。導(dǎo)致表面化學(xué)結(jié)構(gòu)發(fā)生變化。反應(yīng)性是指等離子體中的自由基或離子直接與材料表面相互作用并與新的官能團(tuán)結(jié)合。等離子體的親水改性可以提高高分子材料的附著力。例如，聚氨酯復(fù)合膠粘劑的表面張力高，而PP、PE等塑料薄膜的表面極性較低，因此聚氨酯膠粘劑可以通過(guò)表面處理的改變來(lái)提高塑料薄膜的表面極性。

提高與高分子材料的附著力

所謂非反應(yīng)型，高分子材料的附著力是指等離子體中的自由基和離子不與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，而只起激發(fā)自由能的作用，材料需要與空氣接觸，從而引起表面化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化。反應(yīng)性是指等離子體中的自由基或離子直接與材料表面相互作用，并連接成新的官能團(tuán)。利用等離子體的親水改性，可以提高高分子材料的附著力。

所謂非反應(yīng)型，高分子材料的附著力是指等離子體中的自由基和離子不與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，而只起激發(fā)自由能的作用，材料需要與空氣接觸，從而引起表面化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化。反應(yīng)性是指等離子體中的自由基或離子直接與材料表面相互作用，并連接成新的官能團(tuán)。利用等離子體的親水改性，可以提高高分子材料的附著力。