等離子器具中的離子或高活性原子與表面污染物碰撞或形成揮發(fā)性蒸氣,為什么重涂后附著力變差然后通過真空系統(tǒng)去除,以達到凈化表面的目的。在高頻電磁場中,空氣中的氧氣如甲烷。在電弧放電的情況下,水蒸氣等蒸氣分子可以在高速電磁場中凈化低壓氧氣。當電子被電磁場加速時,它會獲得高能量并與周圍的分子相互作用?;蛘?,原子碰撞并重新激發(fā)原子中的分子或電子,電子本身處于激發(fā)態(tài)或離子態(tài),物質(zhì)存在的狀態(tài)為等離子體。
在另一些情況下,為什么重涂后附著力變差 自由基與物體表面分子結(jié)合的同時,會釋放出大量 的結(jié)合能,這種能量又成為引發(fā)新的表面反應推動 力,從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學反應而被 去除。電子與物體表面的作用一方面電子對物體表面的撞擊作用,可促使吸 附在物體表面的氣體分子發(fā)生分解或解吸,另一方 面大量的電子撞擊有利引發(fā)化學反應。由于電子質(zhì) 量極小,因此比離子的移動速度要快得多。
通常情況下,附著力變大是什么情況物質(zhì)以固態(tài)、商態(tài)和氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊情況下可以以第四種狀態(tài)存在,比如太陽表面的物質(zhì)、地球大氣層電離層的物質(zhì)等。這類物質(zhì)的狀態(tài)稱為等離子體態(tài),也稱為勢物質(zhì)的第四態(tài)。以下物質(zhì)存在于等離子體中。高速運動的電子;處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(自由基);電離原子和分子;分子解離反應過程中產(chǎn)生的紫外線;未反應的分子、原子等,但物質(zhì)作為一個整體保持電中性。
常用的等離子體激發(fā)頻率有三種:激發(fā)頻率為 40kHz的等離子體為超聲等離子體,為什么重涂后附著力變差13.56MHz的等離子體為射頻等離子體,2.45GHz的等離子體為微波等離子體。不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣,超聲等離子體的自偏壓為 0V左右,射頻等離子體的自偏壓為250V左右,微波等離子體的自偏壓很低,只有幾十伏,三種等離子體的機制不同。
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等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。
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