經(jīng)過多次實驗，氨水對硅片表面的活化作用得出了用氧氣和氬氣處理的具體方案，并成功應(yīng)用于后續(xù)的結(jié)合工藝。氧氣和氬氣都是非聚合物氣體。等離子體與硅片表面的二氧化硅層相互作用后，這些活性原子和高能電子破壞了原有的硅氧鍵結(jié)構(gòu)，使其不發(fā)生交聯(lián)。表面上存在許多懸空鍵，因為被激活原子的電子結(jié)合能由于結(jié)合和表面活化而向更高能量方向移動，而這些懸空鍵與OH基團鍵合，以形式存在。形成穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)。

廣泛應(yīng)用于印刷包裝行業(yè)、光電制造行業(yè)、汽車制造行業(yè)、金屬及涂裝行業(yè)、陶瓷表面處理、電纜行業(yè)、狹窄塑料表面、數(shù)碼產(chǎn)品表面、金屬表面處理。。目前去除硅片表面顆粒的主要方法有兩種:一種是標(biāo)準(zhǔn)洗滌(RCA)洗滌技術(shù)，硅片表面活化另一種是使用等離子洗衣機洗滌。在RCA洗滌技術(shù)中，大多數(shù)洗滌單元都是多槽浸漬洗滌系統(tǒng)。洗滌液1 (SC-1)(NH40H+H202)-HF+H20)液1和液2 (SC-2)(HCl+H202)。

與等離子刻蝕相比，氨水對硅片表面的活化作用濕法刻蝕工藝具有溫度低、效率高、成本低的優(yōu)點。濕法刻蝕工藝可以有效去除硅片上的磷硅玻璃和金屬離子，鈍化和清洗去除殘留物。這提高了使用硅晶片的效率。與等離子蝕刻相比，濕法蝕刻系統(tǒng)是通過化學(xué)蝕刻溶液與被蝕刻物體之間的化學(xué)反應(yīng)將其去除的蝕刻方法。大多數(shù)濕法蝕刻系統(tǒng)是各向同性蝕刻，不易控制。特點：適應(yīng)性強，表面均勻，對硅片損傷小，幾乎適用于所有金屬、玻璃、塑料等材料。

目前用于等離子清洗機改性的反應(yīng)性的氣體有O2、N2、CO2、NH3和空氣等，硅片表面活化非反應(yīng)性氣體有Ar、He等惰性氣體。氨氣(NH3)常溫常壓下為無色、有刺激性惡臭的劇毒氣體，在空氣中能發(fā)生爆炸燃燒。相對密度比空氣輕，標(biāo)準(zhǔn)狀況下，一體積水能溶解700體積氨氣(飽和濃度35.28%)，氨水呈堿性，有腐蝕性。氨氣用途廣泛，用于生產(chǎn)硝酸、化肥、炸藥等含氮化合物，還用作制冷劑。氨氣是一種化學(xué)性質(zhì)很活潑的氣體。

氨水對硅片表面的活化作用

..電暈放電技術(shù)常用于卷材涂層工藝中。這對許多聚合物來說是有效且經(jīng)濟的。新開發(fā)的表面處理工藝根據(jù)實際應(yīng)用將高頻廠中的混合氣體電離，結(jié)合直流磁控濺射技術(shù)，利用等離子處理技術(shù)對表面進行氧化、氮化、氨水處理或水解。 .提高材料的表面能及其結(jié)合性能。此外，所選材料的表面形貌對阻擋層的性能有顯著影響。例如，光滑、平坦的基材很容易涂上高質(zhì)量的阻隔層。。

..電暈放電技術(shù)常用于卷材涂層工藝中。這對許多聚合物來說是有效且經(jīng)濟的。新開發(fā)的表面處理工藝根據(jù)實際應(yīng)用將高頻廠中的混合氣體電離，結(jié)合直流磁控濺射技術(shù)，利用等離子處理技術(shù)對表面進行氧化、氮化、氨水處理或水解。 .提高材料的表面能及其結(jié)合性能。此外，所選材料的表面形貌對阻擋層的性能有顯著影響。例如，光滑、平坦的基材很容易涂上高質(zhì)量的阻隔層。。

Wang和Ohtsuka采用催化活化法研究CO2氧化CH制C2烴反應(yīng)，結(jié)果表明部分堿土金屬氧化物如CaO具有較高的催化活性，可在一定程度上提高C2烴選擇性。在等離子體條件下考察了MgO/Y-Al2O3、CaO/Y-Al2O3、SrO/Y-Al2O3和BaO/Y-Al2O3作用下CO2氧化CH4制C2烴反應(yīng)(表4-2)。

  等離子表面清洗設(shè)備的應(yīng)用：   1、清洗光學(xué)器件、電子元件、 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片，移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)，清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石等;   2、牙科領(lǐng)域：對硅酮壓模材料和鈦制牙移植物的預(yù)處理，增強其浸潤性和相容性;   3、醫(yī)用領(lǐng)域：修復(fù)學(xué)上移植物的表面預(yù)處理，增強其浸潤性、粘附性和相容性，醫(yī)療器械的消毒和滅菌;  4、改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力;  5、去除金屬材料表面的氧化物;  6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化，增強其表面粘附性、浸潤性、相容性;  7、高分子材料表面修飾。

氨水對硅片表面的活化作用

舉例來說，硅片表面活化很多人都會有這樣的體驗：自動洗衣機的手柄在使用一段時間之后就會脫落，這極大地影響了使用體驗。由于PP把手與自動洗衣機機身粘接力不足，在日常使用中，若采用深圳等離子處理設(shè)備表面處理技術(shù)，可使自動洗衣機手柄與自動洗衣機機身間形成活化，提高PP手柄與自動洗衣機機身間的牢度和耐久性。今日 主要向大家介紹自動洗衣機和電磁爐等離子技術(shù)的應(yīng)用。

在250 ~ 800 nm的波長范圍內(nèi)，氨水對硅片表面的活化作用等離子體作用下甲烷轉(zhuǎn)化過程中產(chǎn)生的主要活性物質(zhì)有CH (430.1 ~ 438.7nm)、C (563.2 nm, 589.1 nm)、C2 (512.9 nm, 516.5 nm)和H (434.1 nm, 486.1 nm, 656.3 nm)。在等離子體放電區(qū)域，首先產(chǎn)生高能電子。