半導體硅片(Wafer)等離子處理
集成電路或IC芯片是當今電子產(chǎn)品的復雜基石?,F(xiàn)代IC芯片包括印刷在晶片上的集成電路,并且附接到“封裝”,該“封裝”包含到印刷電路板的電連接,IC芯片焊接在印刷電路板上。用于IC芯片的封裝還提供遠離晶片的磁頭轉(zhuǎn)移,并且在某些情況下,提供圍繞晶片本身的引線框架。
IC芯片制造領域中,等離子體處理技術(shù)己是一種不可替代的成熟工藝,不論在芯片源離子的注入,還是晶元的鍍膜,亦或是我們的低溫等離子表面處理設備所能達到的:在晶元表面去除氧化膜、有機物、去掩膜等超凈化處理及表面活化提高晶元表面浸潤性。
當IC芯片包含引線框架時,晶片上的電連接結(jié)合到引線框架上的焊盤,然后引線框架焊接到封裝上。
為了確保清潔,持久和電阻低的粘合,許多IC制造商利用等離子技術(shù)在膠合或焊接之前清潔每個接觸點。!半導體的等離子體處理可以顯著提高可靠性。
等離子作用一般應用包括:
1.清潔:去除材料表面的污染物和殘留物
2.粘接:促進材料的直接粘合
3.粘著:準備涂層,涂漆等表面
4.聚合:通過氣態(tài)單體實現(xiàn)聚合
5.激活:改變表面屬性以創(chuàng)建功能區(qū)域
半導體行業(yè)的應用
深圳金徠等離子處理系統(tǒng)目前用于以下領域,例如清潔、蝕刻、表面活化和提高可制造性:
半導體封裝和組裝(ASPA),晶圓級封裝(WLP)
封裝,成型
底部填充
線焊