圖3 常用的CCP源室結(jié)構(gòu)在 1MHz 和 MHz 之間的頻率下，長(zhǎng)沙真空等離子清洗機(jī)價(jià)格自由電子可以隨著電場(chǎng)的變化而獲得能量，而離子通常不會(huì)隨著電場(chǎng)的變化而移動(dòng)。他們沉重的質(zhì)量。電容耦合等離子體的放電壓力通常在幾毫托到幾百毫托之間。由于電子的質(zhì)量遠(yuǎn)小于離子的質(zhì)量，因此電子可以傳播得更遠(yuǎn)并與氣體或墻壁發(fā)生碰撞。在電離中。更多的電子和離子。電子在壁周圍釋放，只留下龐大的離子，但整個(gè)腔室必須是電中性的。
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正如將固體變成氣體需要能量一樣，長(zhǎng)沙真空等離子清洗機(jī)品牌產(chǎn)生離子也需要能量。一定量的離子是帶電粒子和中性粒子（包括原子、離子和自由粒子）的混合物。離子導(dǎo)電并且可以對(duì)電磁力作出反應(yīng)。隨著溫度的升高，物質(zhì)從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，從液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)。當(dāng)氣體溫度升高時(shí)，氣體分子被分離成原子。隨著溫度繼續(xù)升高，原子核周圍的電子與原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負(fù)電荷）。這種現(xiàn)象稱為“電離”。通過電離而帶有離子的氣體稱為“等離子體”。
平行平板式的真空等離子表面處理設(shè)備的真空腔體，長(zhǎng)沙真空等離子清洗機(jī)價(jià)格是以一個(gè)軸對(duì)稱的中心饋入頭接地的高頻電源去激發(fā)平行平板電極的等離子體，如下圖所示。電位以及位置和時(shí)間的關(guān)系如下圖，黃色線表示相位角θ=0時(shí)的電位分布，橙色線則對(duì)應(yīng)于相位角θ=π時(shí)的電位分布情況。等離子表面處理設(shè)備所產(chǎn)生的等離子體和鞘層是真空腔體的中心面對(duì)稱分布的。
然而，長(zhǎng)沙真空等離子清洗機(jī)價(jià)格即使是低于-120°C的等離子體蝕刻工藝也不能僅通過低溫工藝保證良好的各向異性蝕刻特性。各向同性現(xiàn)象也時(shí)有發(fā)生。因此，側(cè)壁保護(hù)在減少橫向蝕刻方面起著重要作用。真正的各向異性蝕刻只有在添加側(cè)壁保護(hù)層產(chǎn)生氣態(tài)氧后才能實(shí)現(xiàn)。還，在許多低溫等離子蝕刻工藝中，等離子表面處理機(jī)的離子影響是決定性因素。這主要是因?yàn)榻档头磻?yīng)溫度可以有效減緩表面的化學(xué)反應(yīng)。
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等離子清洗機(jī)清洗影響速度的情況有：所處理的材料不一致，工藝不一致，驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)不一致，噴頭等離子體與材料的距離不一致，等離子體的功率和進(jìn)氣壓力都會(huì)影響等離子體的速度。一般問生產(chǎn)線上速度會(huì)有多快滿足生產(chǎn)要求，我們不能給出準(zhǔn)確的答案，具體的得看實(shí)際需求。
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