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被清除的污染物可能有有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、光刻膠、氧化物、微顆粒污染物等，廣東銷售等離子清洗機(jī)腔體廠家現(xiàn)貨所以射頻等離子清洗是一種高精密清洗。 就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗通常包括以下過程： （1）無機(jī)氣體被激發(fā)到等離子態(tài)； （2）氣相物質(zhì)被吸附在固體表面； （3）被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子； （4）產(chǎn)物分子解析形成氣相； （5）反應(yīng)殘余物脫離表面。 通過以下幾個(gè)反應(yīng)式及圖1、圖2和圖3對(duì)清洗方式做詳細(xì)說明。