由于等離子體是一種具有很高能量和極高活性的物質(zhì)，有機(jī)硅樹脂對(duì)基材的附著力它對(duì)于任何有機(jī)材料等都具有良好的蝕刻作用，而且等離子制成是一種干法處理，沒有污染，因而在最近幾年被大量運(yùn)用到印制板制造中來。

首先，有機(jī)硅樹脂的附著力真空泵開始抽吸等離子清洗室中的空氣，使等離子清洗室形成真空環(huán)境。隨著氣體越來越薄，分子間的力越來越小，分子與分子或離子自由運(yùn)動(dòng)之間的距離越來越長(zhǎng)。然后打開氬氣控制閥，將氬氣充入等離子清洗室，直至氬氣充滿整個(gè)等離子清洗室。電極通電，氬氣與電場(chǎng)碰撞形成等離子體分解的離子。氬等離子體產(chǎn)生的離子以足夠的能量撞擊芯片表面，與有機(jī)污染物和顆粒污染物發(fā)生反應(yīng)或碰撞，形成揮發(fā)性物質(zhì)。

, 原子, 分子, 電子: O2 + CF2 & RARR; O + OF + CO + COF + F + E + 等離子體中的自由基和陽(yáng)離子是上述高分子有機(jī)材料(C, H, O, N) 它發(fā)生化學(xué)反應(yīng)?？妆?。

等離子體中存在以下物質(zhì)：；高速運(yùn)動(dòng)的電子；處于激發(fā)態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)（自由基）；電離原子和分子：分子解離反應(yīng)過程中產(chǎn)生的紫外光；未反應(yīng)的分子、原子等，有機(jī)硅樹脂對(duì)基材的附著力但該物質(zhì)整體上保持電中性。等離子清洗機(jī)就是利用等離子體中的活性粒子來對(duì)物體表面進(jìn)行清潔?；钚粤Ｗ訒?huì)與表面的有機(jī)物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應(yīng)腔體達(dá)到清洗物體表面的效果。

有機(jī)硅樹脂的附著力

利用強(qiáng)局域場(chǎng)參與非平衡等離子體中高能電子和強(qiáng)電子散射函數(shù)的尾部，有可能產(chǎn)生新的化學(xué)反應(yīng)。等離子體環(huán)境有利于許多化學(xué)反應(yīng)。氣體類型、流量、壓力和輸入功率等工藝參數(shù)決定了反應(yīng)能否產(chǎn)生主要的輸入工藝參數(shù)。邊界和底部之間也會(huì)有多重反應(yīng)。通過相關(guān)的表面處理得到燒蝕率和積累率。當(dāng)有機(jī)蒸氣作為工作氣體時(shí)，會(huì)發(fā)生等離子體聚合和聚集。

圖1簡(jiǎn)要描繪了等離子清洗的效果原理。首先，是通過等離子體效應(yīng)材料表面發(fā)生一系列物理和化學(xué)變化。材料中包含的活性粒子和高能射線與表面的有機(jī)污染物分子反應(yīng)，相互碰撞形成微小的蒸發(fā)物質(zhì)，從表面去除，完成清潔效果?？梢?，等離子體清洗技術(shù)具有工藝簡(jiǎn)單、高效節(jié)能、安全環(huán)保等顯著優(yōu)勢(shì)。

以水為例：在0℃以下的溫度下，水會(huì)以固態(tài)出現(xiàn)，即&ldquo；冰&rdquo；；在0℃至℃的溫度下，水會(huì)變成液體，即&ldquo；水&rdquo；；在℃以上的溫度下，水會(huì)變成氣體，即&ldquo；水汽&rdquo；加熱到數(shù)萬度后，物質(zhì)會(huì)進(jìn)入第四種狀態(tài)&mdash；&mdash；等離子！常壓（大氣壓）等離子體清洗機(jī)是通過注入電極注入無水、無油壓縮空氣(CDA)等氣體形成等離子體的裝置。

目前廣泛使用的等離子清洗機(jī)清洗技術(shù)，對(duì)于等離子清洗機(jī)的使用也是越來越廣泛，其清洗技術(shù)的作用也將逐漸為大家所認(rèn)識(shí)。。等離子清洗機(jī)清洗技術(shù)的作用突出　　隨著時(shí)代的發(fā)展，科技在不斷的進(jìn)步，各行各業(yè)都有了自己的進(jìn)步空間，不同的行業(yè)都有不同的應(yīng)用。等離子設(shè)備相信大家都了解一下，對(duì)于等離子外加工也了解了一下，那么對(duì)于等離子清洗機(jī)，它的清洗技術(shù)的作用比較突出，下面我們就來看看吧。

有機(jī)硅樹脂的附著力

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這些離子具有足夠的反應(yīng)性和能量來破壞幾乎所有的化學(xué)鍵并在暴露的表面上引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性質(zhì)。例如，有機(jī)硅樹脂對(duì)基材的附著力氧等離子體具有很強(qiáng)的氧化性，會(huì)氧化光刻膠產(chǎn)生氣體，具有清潔作用。腐蝕性氣體等離子體具有良好的各向異性，可以滿足刻蝕需要。等離子加工時(shí)會(huì)發(fā)光，因此稱為輝光放電加工。等離子清洗機(jī)主要是依靠等離子中活性粒子的“（活化）”來清除物體表面的污垢。從反應(yīng)機(jī)理來看，等離子清洗通常涉及以下幾個(gè)過程。