正是由于晶圓清洗是半導(dǎo)體制造工藝中重要且頻繁的一步,???a href="/dingzhi/liu-shui-xian.html" target="_blank">在線等離子清洗機其工藝質(zhì)量將直接影響設(shè)備的良品率、功能和可靠性,因此國內(nèi)外各大公司和研究機構(gòu)對清洗工藝的研究不斷進行。等離子清洗作為一種先進的干洗技能,具有綠色環(huán)保的特點。隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展,等離子體清洗機在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用也越來越多。半導(dǎo)體的污染與分類半導(dǎo)體的制造需要一些有機和無機物。否則,由于工藝始終由人在凈化室進行,半導(dǎo)體晶圓不可避免地受到各種雜質(zhì)的污染。
但這種工藝會在溝槽表面形成較厚的氧化硅層。如前所述,??谠诰€式等離子清洗設(shè)備廠商去除灰化產(chǎn)生的氧化硅層的過程也會對淺溝槽隔離氧化硅層造成損傷,影響器件性能,因此氧化灰化工藝不適用于鍺硅工藝。。等離子清洗機設(shè)備的表面處理技術(shù)用途廣泛:由于對工業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量和環(huán)境保護的要求越來越高,等離子清洗機等高科技設(shè)備已成為許多工業(yè)產(chǎn)品的必需品。隨著市場對材料的需求越來越大,生產(chǎn)過程中出現(xiàn)的問題也越來越多。
目前,???a href="/dingzhi/liu-shui-xian.html" target="_blank">在線等離子清洗機等離子清洗機(點擊查看詳情)已經(jīng)在汽車制造業(yè)中發(fā)揮了不可或缺的作用。隨著對車輛密封性的要求越來越高,對密封條的要求也越來越高。新工藝、新材料不斷涌現(xiàn),因此加工技術(shù)將越來越復(fù)雜。例如,近年來,隨著熱塑性彈性體技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,TPO、TPV等新型熱塑性彈性體在汽車密封條中的應(yīng)用越來越廣泛。這些材料既具有彈性體的優(yōu)良性能,又具有塑料的優(yōu)良特性,加工方便,可回收利用。這些材料正在逐步取代EPDM產(chǎn)品。
不同的塑料需要不同強度的電暈處理。?實踐證明,??谠诰€等離子清洗機BOPP薄膜生產(chǎn)后結(jié)構(gòu)會發(fā)生變化,聚合物在幾天內(nèi)由非晶態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榫B(tài),影響電暈處理的效果。電暈處理后,塑料外層的交聯(lián)結(jié)構(gòu)比內(nèi)層減少,因此外層的官能團具有更高的遷移率。因此,在貯存過程中,很多塑料表現(xiàn)出電暈處理的下降,添加劑由內(nèi)到外的遷移也是使外下降影響附著力的因素,這種負面作用不能完全抑制。事實上,相對濕度也會影響電暈處理的效果。
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其關(guān)鍵工序是:首先將清洗工件送入真空室固定,真空泵等設(shè)備開始抽真空排氣至10Pa左右;然后,低溫等離子體清洗機清洗所用的混合氣體(根據(jù)清洗材料不同,選用的混合氣體也不同,如O2、H2、Ar、N2等),壓力始終保持在100帕左右;真空窒息時在電極片與保護地之間施加高頻電壓,使混合氣體分解,通過輝光放電,它是電離的,通過輝光放電將其電離,進行等離子體;等離子在真空悶死中覆蓋被清洗工件后,開始清洗作業(yè),清洗過程持續(xù)數(shù)十秒至數(shù)分鐘。
易于采用數(shù)控技術(shù),自動化程度高;采用高精度控制裝置,時間控制精度很高;正確的等離子清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環(huán)境,確保清洗面不受二次污染。。離子清洗設(shè)備運行的基本規(guī)律主要無機氣體被激發(fā)成等離子體狀態(tài);氣相物質(zhì)吸附在固體表面;吸附基團與固體表面反應(yīng)幾分鐘形成產(chǎn)物分子,產(chǎn)物分子溶解形成氣相,最后反應(yīng)殘留物離開表面。
如果在等離子體清洗機放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,活化材料表面會發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團,如烴基、氨基、羧基等,這些都是活性基團,可以明顯提高材料的表面活性。一般材料在等離子體中經(jīng)NH3、O2、CO、Ar、N2、H2等氣體處理后接觸空氣時,-COOH和?-C=O?-NH2,-哦?等基團,以增加其親水性。
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