超聲波清洗主要根據(jù)空化效應(yīng)達(dá)到清洗目的,壓鑄鋁噴涂附著力屬于濕法處理,清洗時(shí)間長(zhǎng),且依賴清洗液的去污性能,增加了廢液處理問(wèn)題。等離子體清洗技術(shù)是現(xiàn)階段廣泛應(yīng)用的技術(shù)。等離子體清洗技術(shù)簡(jiǎn)單環(huán)保,清洗效果明顯,對(duì)盲孔結(jié)構(gòu)非常有效。等離子體清洗機(jī)設(shè)備清洗是高度活化的等離子體在電場(chǎng)作用下定向運(yùn)動(dòng),與孔壁鉆孔污物發(fā)生氣固化學(xué)反應(yīng)。同時(shí),產(chǎn)生的氣體產(chǎn)物和一些未反應(yīng)的顆粒由吸入泵排出。等離子體在清洗HDI板盲孔時(shí)一般分為三步。

壓鑄鋁噴涂附著力

大家都知道,壓鑄鋁噴涂附著力不好太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)清潔生產(chǎn)工藝非常嚴(yán)格。即使太陽(yáng)能極的硅片不需要電子級(jí),69的純度也很高。等離子清洗機(jī)工藝誕生后,等離子體清洗工藝已成為硅片上或多或少污染物清洗過(guò)程中常用的方法之一。等離子清洗機(jī)是一個(gè)結(jié)合等離子體物理、等離子體化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng)的新興領(lǐng)域。

二、等離子體發(fā)生器激勵(lì)頻率分類(1)超聲等離子體:激發(fā)頻率40kHz,壓鑄鋁噴涂附著力不好在處理表面引起物理反應(yīng);②射頻等離子體:激發(fā)頻率13.56MHz,在處理表面引起物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng);③微波等離子體:激發(fā)頻率2.45GHz,用于表面處理,產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)。。

2. 接下來(lái),壓鑄鋁噴涂附著力將等離子清洗氣體引入真空室以穩(wěn)定室內(nèi)壓力。根據(jù)清洗劑的不同,可以使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)夂退姆嫉葰怏w。 3、在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體分解并輝光放電,產(chǎn)生等離子體并電離。產(chǎn)生等離子,覆蓋在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子處理的工件,開(kāi)始清洗。清潔過(guò)程通常需要幾十秒到幾十分鐘,具體取決于正在處理的材料。 4、清洗后,關(guān)閉電源,用真空泵排出氣體和汽化的污垢,完成清洗。

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研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)?shù)入x子體刻蝕溫度低于-℃時(shí),該材料刻蝕過(guò)程中產(chǎn)生的低K損傷會(huì)急劇減小,其介電常數(shù)不會(huì)明顯增加,從而材料特性不會(huì)發(fā)生明顯變化。同時(shí)比較了不同偏壓下刻蝕工藝對(duì)介質(zhì)材料的損傷。利用等離子體表面處理器進(jìn)行低偏壓或零偏壓超低溫刻蝕,可以明顯降低低介電常數(shù)材料的PID,同時(shí)材料的介電性能與刻蝕前相比無(wú)明顯變化。

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