廣東金徠科技有限公司，是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業(yè)。

用途：

金徠等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。

金徠等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場合：

半導(dǎo)體開發(fā)、集成電路開發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實驗等等。

金徠等離子清洗/刻蝕機具有以下特點：

可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統(tǒng)一同使用的最常見的選裝件。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析

考古

汽車行業(yè)

研究和開發(fā)部門

半導(dǎo)體技術(shù)

小批量生產(chǎn)

塑料技術(shù)

醫(yī)療技術(shù)

微系統(tǒng)技術(shù)

傳感器

滅菌

紡織技術(shù)

技術(shù)參數(shù)：

系列

Femto

控制系統(tǒng)

半自動型

PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子

（大約Φ100 mm, 長 278 mm 或者長 600 mm）

（約寬 103 x 深 285 x 高 103)

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門

（大約Φ 95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門

（大約Φ95 mm, 長 280 mm 或者長 600 mm）

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門

（大約Φ 95 mm，長 280 mm 或者長 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時器

數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 10 無級可調(diào)型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源：臺式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項。

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