在下電極射頻射頻的作用下，提高涂料用基材的附著力這些等離子刻蝕機撞擊基板表面，破壞基板圖案區(qū)域中半導體材料的化學鍵，形成蝕刻氣體和揮發(fā)性物質(zhì)。它以氣體的形式與基板分離并從真空管中取出。首先，從某種意義上說，等離子清洗本質(zhì)上是等離子蝕刻機的一種溫和情況。這樣，通入必要的蝕刻氣體，提高產(chǎn)量，延長工作時間，就可以達到蝕刻的目的。畢竟如果不是專業(yè)的蝕刻機，效果肯定不如專業(yè)的蝕刻機。

1、O2：清洗方式：物理+化學2、N2：清洗方式：物理+化學3、CO2：清洗方式：物理+化學4、Ar：清洗方式：物理5、CDA（壓縮空氣）：清洗方式：物理+化學選取 plasma等離子清洗機，提高涂料復涂附著力可極大的提高清洗效率。整個清洗過程可以在幾分鐘內(nèi)完成，因此具備有高產(chǎn)率的特點。選取數(shù)控技術(shù)，自動化程度高;具備有高精度的控制裝置而且時間控制的精度很高。

除同步脈沖技術(shù)外，提高涂料復涂附著力還有源功率脈沖、偏置功率脈沖、嵌入脈沖（embedded）和交錯脈沖（delayed）技術(shù)，均采用EED微調(diào)或用于特殊工藝。例如，當源功率為脈沖時，一般是無偏的，適用于表面材料的精細加工（去除）。當偏壓電源為脈沖時，由于源電源的連續(xù)工作，電子溫度并沒有降低，當需要降低時，往往通過提高反應室內(nèi)的壓力來實現(xiàn)，但它是各向異性的。它削弱了蝕刻能力，但高輸出底部偏壓解決了這個問題。

等離子體清洗機活化可明顯提高甲烷轉(zhuǎn)化率，提高涂料用基材的附著力當?shù)入x子體清洗機注入功率為30W時，甲烷轉(zhuǎn)化率達26.5%，由于在等離子體清洗機空間內(nèi)氧自由基之間反應缺乏挑選，及其等離子體對產(chǎn)物的分解作用，導致C2烴選擇性低(47.9%)，且隨著等離子體注入功率的增加，C2烴選擇性迅速下降，所以在一定的plasma等離子體注入功率下難以提高C2烴收率。

提高涂料復涂附著力

同時，不同能量、劑量，不同種類的離子注入，也可改變材料的表面特性，如提高表面的抗腐蝕性、抗氧化性、抗磨損特性等?，F(xiàn)在有了一種新的快捷、方便的物理處理方法，即利用等離子清洗機plasma清洗對SiO2薄膜作適當?shù)奶幚?，使SiO2薄膜在恒壓電暈極化后表現(xiàn)出良好的電荷存儲穩(wěn)定性。

前者是物質(zhì)與血液相互適應的程度，后者是血液以外的物質(zhì)和組織相互適應的能力。大量實驗表明，等離子清洗機技術(shù)可以有效提高生物醫(yī)用材料的血液和組織溶解度。血液相容性:將材料移植到生物體內(nèi)的一個重要要求是它們與血液相容，而不會引起血凝、毒性和免疫反應。這是血液相容性材料。血漿蛋白在物質(zhì)表面與血液接觸后，首先被吸附在物質(zhì)表面，然后發(fā)生一系列的生物效應，然后不可逆地聚集在血小板上形成血栓。

(2)從激發(fā)頻率來看，可將其分為激發(fā)頻率為40kHz的等離子體、激發(fā)頻率為13.56MHz的射頻等離子體以及激發(fā)頻率為2.45GHz的微波等離子體，實際半導體生產(chǎn)應用中多數(shù)采用射頻等離子體清洗和微波等離子體清洗。(3)從反應氣體種類看，可將其分為反應性氣體被激發(fā)產(chǎn)生的等離子體(如O2、H2等)和惰性氣體被激發(fā)所產(chǎn)生的等離子體(如Ar、N2等)。前者是化學清洗手段，后者是物理清洗手段。

根據(jù)電源與等離子體耦合的方式不同，高頻等離子體炬可分為：電感耦合型、電容耦合型、微波耦合型和火焰型。高頻等離子體炬由三部分組成：高頻電源、放電室、等離子體工作氣供給系統(tǒng)。后者除了供軸向工作氣外,還像電弧等離子體炬氣穩(wěn)弧一樣,切向供入旋轉(zhuǎn)氣流以冷卻并保護放電室壁(通常用石英或耐熱性較差的材料)。 本文章出自北京 ，轉(zhuǎn)載請注明出處。。

提高涂料復涂附著力

經(jīng)等離子清洗后器材外表是枯燥的，提高涂料用基材的附著力不需要再處理，能夠進步整個工藝流水線的處理功率；能夠使操作者遠離有害溶劑的損傷；等離子能夠深化到物體的微細孔眼和洼陷的內(nèi)部完成 清洗，因此不需要過多考慮被清洗物件的形狀；還能夠處理各種原料，特別適合不耐熱以及不耐溶劑的 原料。這些優(yōu)點，都使等離子體清洗得到廣泛關(guān)注。目前，等離子清洗設(shè)備主要有批量式及在線式兩種。

萌發(fā)勢和萌發(fā)率也有明顯提高，提高涂料復涂附著力陳種子和萌發(fā)率低的品種萌發(fā)率可提高10%~15%；2、防治病蟲害：通過對種子等離子體進行表面處理，可以很好地殺滅種子表面的病菌，從而提高種子萌發(fā)時的抗病性，顯著降低苗期病害的發(fā)生；3、提高抗逆性：等離子體表面處理能激活種子內(nèi)各種酶的活性，從而提高作物對干旱、鹽堿和低溫的耐受性。