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器件中ITO的表面功函數(shù)與空穴輸運層NPB的高電子占有軌道(HOMO)之間存在較高的勢壘，附著力的物質(zhì)有哪些導致器件性能較低。TTO表面氧含量直接影響ITO的功函數(shù)，氧含量的增加會導致ITO費米能級的降低和ITO功函數(shù)的增加混合等離子體處理后ITO表面形貌發(fā)生了明顯變化。對未處理和等離子體處理后ITO表面形貌的分析表明，ITO表面的平均粗糙度和峰谷距離顯著減小，ITO表面的粒子半徑也顯著減小。

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等離子清洗機/等離子處理器/等離子加工設備廣泛應用于等離子清洗、等離子蝕刻、留膠、等離子鍍膜、等離子灰、等離子處理和等離子表面處理等場合。

醫(yī)療器械使用前的處理工藝非常精細，（等離子表面處理）使用氟里昂清洗不但浪費資源而且成本也非常的昂貴，而等離子表面處理技術(shù)的使用避免了使用化學物質(zhì)的弊端，而且也更加適應了現(xiàn)代醫(yī)療科技的技術(shù)要求。 （等離子表面處理）光學器件和一些光學產(chǎn)品對清洗的技術(shù)要求非常高，等離子表面處理技術(shù)在此領域可以得到更加廣泛的運用。

由于物體表面的撞擊，吸附在物體表面的氣體分子會被分解和吸附，大量的電子碰撞有利于化學反應。因為電子的質(zhì)量很小，所以它們比離子跑得快。在低溫等離子體過程中，電子比離子早到達物體表面，表面帶負電荷，這有利于引發(fā)進一步的反應。。等離子體作為物質(zhì)(除固體、液體和氣體外)的第四種狀態(tài)，是由氣體部分或完全電離而產(chǎn)生的非凝聚系統(tǒng)，一般含有自由電子、離子、自由基、中性粒子等。

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