通過陰、陽(yáng)極之間的弧光放電，龍巖真空等離子清洗的旋片羅茨式真空泵批發(fā)可產(chǎn)生自由燃燒、不受約束的電弧，稱為自由電弧，它的溫度較低（約5000～6000開），弧柱較粗。當(dāng)電極間的電弧受到外界氣流、發(fā)生器器壁、外磁場(chǎng)或水流的壓縮，分別造成氣穩(wěn)定弧、壁穩(wěn)定弧、磁穩(wěn)定弧或水穩(wěn)定弧，這時(shí)弧柱變細(xì)，溫度增高（約 00開）,這類電弧稱為壓縮電弧。

1.計(jì)算整機(jī)等離子清洗電源的噪聲容量例如，龍巖真空等離子清洗機(jī)多少錢集成IC的正常工作電壓為3.13V至3.47V，穩(wěn)壓芯片的標(biāo)稱輸出為3.3V。整機(jī)安裝在電路板上，整機(jī)電源穩(wěn)壓器集成IC輸出3.36V。在這種情況下，允許的電壓波動(dòng)范圍為 3.47 至 3.36 = 0.11V = 110mV。穩(wěn)壓器的輸出精度為1%，即3.363 * 1% = 33.6mV。電源系統(tǒng)的噪聲容量為110-33.6 = 76.4mV。

對(duì)于主側(cè)墻來說，龍巖真空等離子清洗的旋片羅茨式真空泵批發(fā)它的寬度就是LDD的長(zhǎng)度，而它的寬度是由沉積薄膜的厚度來決定的，當(dāng)然蝕刻本身也會(huì)對(duì)側(cè)墻寬度有影響。在亞微米時(shí)代，直接在柵極沉積硅酸四乙酯氧化硅(TEOS氧化硅)，然后蝕刻停止在源漏硅上，形成側(cè)墻。這種方法的問題是會(huì)造成硅損傷。所以當(dāng)器件縮小至一定程度，漏電將無法控制。接下來到了0.25μm時(shí)代，因?yàn)門EOS氧化硅側(cè)墻無法滿足工藝需要所以后來發(fā)展到氮化硅側(cè)墻。

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