使用氧氣和氬氣的等離子體處理器最常用的工藝氣體:1)氧在等離子體環(huán)境中可電離產(chǎn)生大量含氧極性基團(tuán),手持式電暈表面處理機(jī)圖片有效去除材料表面的有機(jī)污染物,使極性基團(tuán)吸附在材料表面,有效提高材料的結(jié)合性能–在微電子封裝工藝中,塑封前等離子體處理是這類處理的典型應(yīng)用,等離子體處理后表面能更高,可與塑封材料有效結(jié)合,減少塑封過程中的彌散和針孔。

手持式電暈處理器

這樣,手持式電暈表面處理機(jī)圖片等離子體表面處理器被廣泛應(yīng)用于許多高科技行業(yè),尤其是汽車、半導(dǎo)體、微電子、集成電路電子、真空電子等行業(yè)??梢哉f,等離子清洗機(jī)是一個重要的設(shè)備,是生產(chǎn)過程中不可缺少的一道工序,也是產(chǎn)品質(zhì)量的試驗站。

經(jīng)工業(yè)離子處理器清洗后,手持式電暈表面處理機(jī)圖片引線框架表面凈化活化效率(果)將較傳統(tǒng)濕式清洗大幅提升,且避免廢水排放,降低化學(xué)藥液采購成本。優(yōu)化引線鍵合(引線鍵合)IC的質(zhì)量對微電子器件的可靠性有決定性的影響,鍵合區(qū)必須無污染物且具有良好的鍵合特性。污染物的存在,如氯化物、殘留物等會嚴(yán)重削弱鉛鍵表的拉動值。

等離子體技術(shù)的清洗類型:根據(jù)反應(yīng)類型的不同,手持式電暈處理器等離子體清洗技術(shù)可分為兩種:等離子體物理清洗,即通過活性粒子和高能射線轟擊分離污染物;等離子體化學(xué)清洗,即活性粒子與雜質(zhì)分子反應(yīng)揮發(fā)污染物。效果和特點(diǎn):與傳統(tǒng)的溶劑清洗不同,等離子體依賴于其中所含的高能物質(zhì)“激活”達(dá)到了清洗材料表面的目的,清洗效果顯著。這是一個剝離清潔。

手持式電暈處理器

手持式電暈處理器

等離子體中有以下物質(zhì):高速運(yùn)動的電子;處于活化狀態(tài)的中性原子、分子和原子團(tuán)(自由基);電離原子和分子;無響應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)作為一個整體保持電中性。在真空室中,射頻電源在一定的壓力條件下產(chǎn)生高能無序等離子體,等離子體脫殼清洗產(chǎn)品外觀。以達(dá)到清潔意圖。等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三大部分,即控制單元、真空室和真空泵。

注意每一個電極的初始位置,以便它們在清潔后安裝在同一位置);(2)保護(hù)好冰水機(jī)進(jìn)出水口,室溫下取出電極,浸泡在10%氫氧化鈉溶液中。浸泡期間,每2分鐘檢查一次電極,直到清除所有殘留物。

對于內(nèi)部電極等離子體清洗系統(tǒng),由于電極暴露在等離子體中,部分?jǐn)?shù)據(jù)電極會被部分等離子體刻蝕或濺射,形成不必要的污染,導(dǎo)致電極尺寸變化,從而影響等離子體清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。電極的布局對等離子體清洗的速度和均勻性有很大影響。較小的電極間距可以將等離子體限制在較窄的區(qū)域內(nèi),從而獲得較高密度的等離子體,完成較快的清洗速度。隨著距離的增加,清洗速度逐漸減小,但均勻性逐漸增大。電極的尺寸一般決定了等離子體系統(tǒng)的整體容量。

就反應(yīng)原理而言,等離子體清洗一般包括以下全過程:無機(jī)氣體活化成等離子體狀態(tài);氣相有機(jī)物粘附于固體表層;粘接基團(tuán)與固體表面分子結(jié)構(gòu)反應(yīng),轉(zhuǎn)化為材料分子結(jié)構(gòu);物質(zhì)的分子結(jié)構(gòu)分解成氣相;反應(yīng)的殘留物與表層分離。

手持式電暈處理器

手持式電暈處理器