上下電極(BE、金屬C、金屬D）和電阻層均為邏輯后臺(tái)工藝所用材料；電阻層中的HfO2和TiN、Ti、W電極材料是邏輯工藝中常見(jiàn)的材料，cpp附著力促進(jìn)劑不存在交叉污染問(wèn)題。目前RIE/ICP仍廣泛應(yīng)用于RRM的刻蝕。存在存儲(chǔ)單元蝕刻截面傾斜、蝕刻后金屬電極側(cè)面腐蝕嚴(yán)重等問(wèn)題。后續(xù)的工藝優(yōu)化（功率脈沖等）或引入新的反應(yīng)氣體應(yīng)取得進(jìn)一步進(jìn)展。

等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子蝕刻、icp、晶圓到橡膠涂層、icp、灰化活化和等離子表面處理等。通過(guò)等離子表面處理的優(yōu)點(diǎn)，cpp附著力促進(jìn)劑可以提高表面潤(rùn)濕能力，使各種材料可以進(jìn)行涂覆、電鍍等操作，增強(qiáng)粘接強(qiáng)度和結(jié)合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或潤(rùn)滑脂，圓光蝕刻膠粘劑等離子清洗機(jī)的清洗工藝是氣固相干反應(yīng)，不消耗水資源，不需要使用較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得等離子清洗機(jī)的整體成本低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝。

由于等離子清洗機(jī)ICP的源射頻和偏壓射頻偶合性可以忽略，cpp附著力促進(jìn)劑這種 DC pulsing的引入可以實(shí)現(xiàn)不同材間蝕刻的高選擇比的精準(zhǔn)控制，達(dá)到ALE蝕刻境界，且遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)的基于氣體脈沖的ALE蝕刻的4步法(吸附、抽空、反應(yīng)、抽空)。

4) 控制系統(tǒng) 等離子控制系統(tǒng)由等離子控制柜和觸摸屏組成，cpp附著力柜內(nèi)PLC采用SIEMENS S7-200系列的可編程控制器完成。該CPU模塊中的Profibus接口，可簡(jiǎn)單地與多個(gè)點(diǎn)火控制器相連，以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)所有點(diǎn)火裝置進(jìn)行集中控制。例如MYCRO的SCE系列等離子處理系統(tǒng)，觸摸面板作為操作界面，為現(xiàn)場(chǎng)操作提供了簡(jiǎn)潔的操作模式、完整的信息顯示。。

cpp附著力

該過(guò)程通常使用等離子表面調(diào)節(jié)等離子清潔器的電容耦合等離子蝕刻 (CCP) 模型來(lái)執(zhí)行。高縱橫比是由于通孔底部等離子體分布不均勻，通孔底側(cè)壁變形，孔頂側(cè)壁變形，以及由于通孔深度在蝕刻過(guò)程中，vias越來(lái)越深，等離子體很難到達(dá)via底部并停止蝕刻。在刻蝕過(guò)程中，多步重復(fù)“蝕刻-排氣”的循環(huán)過(guò)程，使刻蝕保護(hù)層的分布更加均勻，同時(shí)將偏置功率提高5到10倍。正常邏輯。

等離子刻蝕機(jī)技術(shù)，等離子表面處理的功率并不是越大越好。在較低功率下，處理膜的剪切強(qiáng)度隨功率的增加而增加，達(dá)到峰值后逐漸降低。電感耦合等離子體刻蝕(ICPE)是化學(xué)和物理過(guò)程的結(jié)合。

第二種是等離子體處理裝置，包括激發(fā)電極、激發(fā)氣體回路等。等離子體發(fā)生器發(fā)射等離子體，在等離子體的作用下，材料表面的一些化學(xué)鍵斷裂，形成小分子產(chǎn)物?；蛘?，它被氧化成CO、CO等。這些產(chǎn)品在泵送過(guò)程中被泵出，導(dǎo)致表面不平整，材料粗糙度增加。為了提高產(chǎn)品的附著力，可以說(shuō)可以應(yīng)用于粘合劑的附著力和電鍍，使用等離子清洗機(jī)。在將需要粘合的零件通過(guò)等離子清洗機(jī)之前，可以成功解決粘合問(wèn)題。

等離子體可以反應(yīng)形成自由基，去除產(chǎn)品表面的有機(jī)污染物，活化產(chǎn)品表面，提高產(chǎn)品表面的粘合性和表面粘合可靠性和耐久性。此外，還可以清潔產(chǎn)品表面，提高表面親和性（水滴的滴角），提高涂體的附著力。另一方面，當(dāng)使用壓縮空氣作為等離子清洗機(jī)的氣源時(shí)，反應(yīng)后的等離子含有大量氧離子和自由基，并沉積在產(chǎn)品表面。噴射的氧離子與產(chǎn)品或?yàn)R射材料發(fā)生化學(xué)鍵合。這種鍵合反應(yīng)進(jìn)一步提高了分子結(jié)構(gòu)之間的鍵合強(qiáng)度，使薄膜不易脫落。

cpp附著力促進(jìn)劑

因此，cpp附著力促進(jìn)劑等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于手機(jī)電鍍和新材料制造等行業(yè)。。玻璃等離子表面處理玻璃作為建筑材料已有幾個(gè)世紀(jì)的歷史。玻璃在化學(xué)上是惰性的，在環(huán)境的影響下是穩(wěn)定的。玻璃基板常規(guī)清洗干燥處理難以完全去除表面吸附的異物。由于其表面在運(yùn)輸和搬運(yùn)過(guò)程中仍暴露在大氣中，不可避免地會(huì)吸附環(huán)境氣體、水蒸氣和粉塵。如果不進(jìn)行處理，薄膜與基材的附著力較弱，產(chǎn)生針孔和顆粒。玻璃材料經(jīng)等離子清洗機(jī)處理后，可立即進(jìn)入下一道加工工序。

(3)其他因素的影響 偶聯(lián)劑的適當(dāng)加入能改善粘接強(qiáng)度；而消泡劑、防老劑、促進(jìn)劑的加入只能使粘接強(qiáng)度降低，cpp附著力所以必須嚴(yán)格控制使用。另外，工件表面一定的粗糙度和必要的潔凈度都可提高粘接強(qiáng)度；反之，帶油污、銹跡的表面會(huì)使粘接強(qiáng)度嚴(yán)重降低，甚至造成失效。因此，為了提高粘接強(qiáng)度，必須注意下列幾點(diǎn)。 ①粗糙的表面具有較大的實(shí)際粘接面積，有利于提高粘接強(qiáng)度，因此，粘接表面最好加工成鉅齒形的表面。