2）將用于等離子體等離子體清洗的氣體引入真空室，硅溶膠對玻璃有附著力嗎并保持室內(nèi)壓力穩(wěn)定，根據(jù)清洗材料不同，可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體。3）在真空室內(nèi)電極與接地設備之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并發(fā)生輝光放電產(chǎn)生等離子體，使真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋處理后的工件，開始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)時間從幾十秒到幾分鐘不等。4）清洗完畢后，切斷電源，通過真空泵排出氣體和氣化的污物。
在輝光放電的情況下，硅溶膠對玻璃有附著力嗎在高頻電場下處于低壓狀態(tài)的氧氣、氮氣、甲烷和水蒸氣等氣體分子被加速分解為原子和分子，產(chǎn)生電子和解離。這些點是帶正電和帶負電的原子和分子。當以這種方式產(chǎn)生的電子被電場加速時，它們獲得高能量并與周圍的分子或原子碰撞。結果，分子和原子中的電子被激發(fā)，它們本身變成激發(fā)態(tài)或離子態(tài)。此時，物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。等離子體和材料表面之間有兩種主要類型的反應。
等離子清洗常用于光刻膠的去除工藝中,在等離子體反響體系中通入少數(shù)的氧氣,在強電場作用下,使氧氣產(chǎn)生等離子體,敏捷使光刻膠氧化成為可揮發(fā)性氣體狀況物質(zhì)被抽走。這種清洗技能在去膠工藝中具有操作便利、效率高、外表干凈、無劃傷、有利于確保產(chǎn)品的質(zhì)量等優(yōu)點,而且它不必酸、堿及有機溶劑等,因此越來越受到人們重視。。
控制部分的主要電器部件有：真空泵、RF電源、真空計、計時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈的蜂鳴器、功率調(diào)節(jié)器、放空按鈕(帶自鎖)、氣體一按鈕(帶自鎖)、氣體二按鈕(帶自鎖)、高頻電源按鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開關。鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、總電源旋鈕開關。
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效率高:整個過程可在短時間內(nèi)完成。成本低:設備簡單，操作維護方便，無廢液處理成本。加工更精細:可深入細孔、凹陷內(nèi)部，完成清洗任務。適用范圍廣:等離子體處理不限制加工對象、材料和形狀?？偟膩碚f，等離子體清洗技術的應用越來越廣泛，發(fā)展前景的空間越來越大，將成為工業(yè)清洗活動中越來越重要的工序之一。如果想了解等離子清洗機相關信息，可以聯(lián)系[]在線客服!。
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