plasma所需的等離子體技術(shù)主要是在真空、放電等特殊場合產(chǎn)生的plasma所需的等離子體技術(shù)主要是在真空、放電等特殊場合產(chǎn)生的。低電壓氣體輝光法是一種依靠等離子體的有效成分進(jìn)行反應(yīng)。它的主要過程包括：先將需要清潔的工件送到真空系統(tǒng)固定，真空泵等設(shè)備逐漸將真空排出約10Pa的真空度；然后將等離子清洗氣體導(dǎo)入真空系統(tǒng)。根據(jù)清洗材料的不同，可選用不同的氣體，如氧、氫、氬、氮等。
在電子工業(yè)中屬于干式清洗，需要真空泵制造一定的真空條件以滿足清洗需求。讓我們看一下plasma的操作流程和注意事項。
（1）、低溫plasma運行時對電源的要求是：交流220V/380V頻率為50/60Hz，也有3/12.5kw，具體選擇哪種配置要根據(jù)需要來確定，啟動前應(yīng)做好電源的接通和檢查工作，設(shè)備運行后應(yīng)發(fā)出平滑的運行聲，而且一般有綠色指示燈常亮以顯示設(shè)備正常運行，如有黃色故障燈亮起，應(yīng)停止運行進(jìn)行檢修。
（2）、使用低溫plasma時，塑料制品和橡膠模具應(yīng)特別注意紅色警示燈。當(dāng)設(shè)備頻繁運行或抖動時，紅色警示燈總是亮著。此時，應(yīng)立即按下復(fù)位鍵觀察設(shè)備。如果設(shè)備仍有異常，應(yīng)立即停止設(shè)備運行，然后進(jìn)行故障檢查，以避免設(shè)備損壞。
（3）、使用低溫plasma時，塑料制品和橡膠模具應(yīng)定期清洗，清洗時必須先斷開電源，然后才能打開腔體和電控箱，并注意按照說明書要求的規(guī)范進(jìn)行清洗。此外，許多低溫等離子清洗機(jī)的腔體都是外置環(huán)形電水平，不容易造成內(nèi)腔污染。plasma所需的等離子體技術(shù)主要是在真空、放電等特殊場合產(chǎn)生的00224276