腐蝕性氣體等離子體具有良好的各向異性，陽極電泳漆附著力的原因能夠滿足腐蝕的需要。當(dāng)使用等離子體時，會發(fā)出輝光，因此稱為輝光放電。輝光放電過程中，電子和正離子在放電管兩極電場的作用下分別向陽極和陰極移動，并在兩極附近聚集形成空間電荷區(qū)。因為正離子的漂移速度遠(yuǎn)低于電子,正離子空間電荷區(qū)域的電荷密度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于電子空間電荷區(qū)域,這樣整個極間電壓幾乎集中在陰極附近的狹窄區(qū)域。

當(dāng)電子、離子和中性粒子（中性氣體）的溫度分別為Te、Ti、Tn時，電泳漆附著力測定這三種粒子的溫度幾乎相等（Te≈Ti≈Tn），稱為熱平衡等離子體。在稱為熱等離子體（熱等離子體）的實際熱等離子體發(fā)生器中，流入的工作氣體通過陰極和陽極之間的電弧放電電離，輸出等離子體以射流的形式，可以使用增加。如等離子射流（常壓射流等離子體等離子射流）、等離子炬（等離子炬）等。

輝光放電在兩極電場的作用下，電泳漆附著力測定電子和正離子分別向陽極、陰極運動，并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū) 。又因為正離子的漂移速度遠(yuǎn)小于電子，所以正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)要大得多，讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。這也是輝光放電的顯著特征，而且在輝光正常放電時，兩極間電壓不會隨著電流的改變而發(fā)生變化。

首先，陽極電泳漆附著力的原因操作人員必須經(jīng)過技術(shù)方面的培訓(xùn)，使他們能夠掌握操作程序，并嚴(yán)格按照操作要求使用。 2.在正式使用等離子清洗機(jī)之前，必須正確設(shè)置操作參數(shù)，并按照設(shè)備使用說明書仔細(xì)操作，不能隨意使用。 3.等離子點火器必須受到保護(hù)，以確保等離子清洗機(jī)正常打開。但是，可能難以打開或打開異常。四。如果一次風(fēng)道不通風(fēng)，確保等離子發(fā)生器的運行時間在規(guī)定時間內(nèi)，且不超過設(shè)備說明書要求的時間。

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簡單而言，自動清洗臺是多片同時清洗，的優(yōu)勢在于設(shè)備成熟、產(chǎn)能較高，而單晶圓清洗設(shè)備是逐片清洗，優(yōu)勢在于清洗精度高，背面、斜面及邊緣都能得到有效的清洗，同時避免了晶圓片之間的交叉污染。45nm之前，自動清洗臺即可以滿足清洗要求，在目前仍然有所應(yīng)用；而在45以下的工藝節(jié)點，則依賴于單晶圓清洗設(shè)備達(dá)到清洗精度要求。在未來工藝節(jié)點不斷減小的情況下，單晶圓清洗設(shè)備是目前可預(yù)測技術(shù)下清洗設(shè)備的主流。

在線真空等離子體清洗機(jī)專注于等離子體表面改性或等離子體表面處理應(yīng)用。它利用等離子體的高能量和不穩(wěn)定性對被處理材料的表面進(jìn)行清潔、活化和活化，從而改變表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)和能量。等離子體與物體表面的相互作用可分為物理作用(離子轟擊)和化學(xué)作用。其物理化學(xué)反應(yīng)機(jī)理是活性粒子轟擊被清理表面，使污染物從表面被清除，被真空泵吸出。其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理是各種活性顆粒與污染物發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，然后被真空泵吸出。

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2.2 蝕刻機(jī)制蝕刻機(jī)理的描述適用于所有類型的等離子體技術(shù)，而不僅僅是 RIE。一般來說，等離子蝕刻是化學(xué)蝕刻，而不是物理蝕刻。即，固體原子與氣體原子反應(yīng)形成化學(xué)分子，這些化學(xué)分子從襯底表面去除以形成蝕刻。由于VDC的存在，一般會有一定量的基板濺射，在很多刻蝕中物理刻蝕效果微弱，可以忽略不計。

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