甲烷脫氫在等離子體中產(chǎn)生的C2H6和C2H4會進(jìn)一步與高能電子反應(yīng)形成C2H5和C2H3自由基,電暈機(jī)高壓短路因此可以推測甲烷脫氫反應(yīng)產(chǎn)生的微量C3和C4產(chǎn)物主要遵循以下途徑:CH3+C2H5+M↠C3H8+M(3-21)CH2+C2H6+M→C3H8+M(3-22)CH3+C2H3+M→C3H6+M(3-23)CH2+C2H4+M↠C3H6+M(3-24)C2H5+C2H5+M→C4H10+M(3-25)光譜分析結(jié)果表明甲烷在等離子體下脫氫主要是自由基過程,因此多種反應(yīng)途徑并存。

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用這種方法可以事半功倍,往往能快速找到故障點(diǎn)。要有一個(gè)電壓電流可調(diào)的電源,電壓0-30V,電流0-3a,這個(gè)電源不貴,大約300元左右。將開路電壓調(diào)整到器件的供電電壓電平,首先將電流調(diào)整到較小的電平,將此電壓施加到電路的供電電壓點(diǎn),如74系列芯片的5V、0V端子,視短路程度緩慢增加電流,用手觸摸器件,當(dāng)觸摸到發(fā)熱明顯的器件時(shí),這往往是損壞的元件,可以拆下進(jìn)一步測量確認(rèn)。

如果燃?xì)鉀]有問題,請檢查減壓表、氣路電磁閥、流量計(jì)工作是否正常。檢查電路是否開路或短路。5真空等離子清洗機(jī)放空氣體壓力太低,請檢查氣體是否打開或氣體是否排出如發(fā)生此類報(bào)警,請檢查真空等離子清洗機(jī)腔體底部用于破真空的氣路電磁閥是否正常工作,線路是否開路或短路。6真空等離子清洗機(jī)真空室門未關(guān)閉,請關(guān)閉真空室門(1)如果真空等離子清洗機(jī)的真空室門沒有關(guān)閉,啟動設(shè)備時(shí)就會出現(xiàn)這種報(bào)警。請關(guān)上真空門。

可能的原因是CHx自由基容易附著在催化劑表面,吸附位點(diǎn)合適,導(dǎo)致CHx自由基偶聯(lián)生成C2烴的幾率增加。對于NiO/Y-Al203來說,這不僅是由于CO2轉(zhuǎn)化率高和體系中的CO2轉(zhuǎn)化率高,而且是由于CO2轉(zhuǎn)化率高除了C、0結(jié)合可提高CO收率外,CHx自由基在催化劑表面吸附時(shí),還被吸附在催化劑上的活性O(shè)原子氧化成CO。在相同的實(shí)驗(yàn)條件下,考察了NiO負(fù)載量對2烴和CO產(chǎn)率的影響。

因此,經(jīng)營者除了具備制造產(chǎn)品的能力外,還必須具備以下四種能力:1.發(fā)現(xiàn)異常的能力能發(fā)現(xiàn)設(shè)備差異往往“異常發(fā)現(xiàn)能力”并不是簡單地在故障或缺陷已經(jīng)發(fā)生時(shí)發(fā)現(xiàn)異常,而是在故障和缺陷似乎發(fā)生時(shí),這些故障的原因等異常一目了然。只有這樣,才稱得上是真正的“異常發(fā)現(xiàn)能力”。

220v電暈機(jī)高壓短路的原因

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在微電子封裝生產(chǎn)過程中,電暈機(jī)高壓短路由于指紋、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等原因,器件和材料表面會形成各種污染物,包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、焊料、金屬鹽等。這些污染物會明顯影響包裝生產(chǎn)過程中相關(guān)工序的質(zhì)量。