典型的等離子化學(xué)反應(yīng)包括原子和官能團(tuán)的形成、異構(gòu)化、原子和分子小團(tuán)的去除(去除)、二聚/聚合、化學(xué)濺射、外部蝕刻和外部材料合成。。一、背景隨著日本城市垃圾的不斷增加,附著力好的標(biāo)線漆垃圾圍城的情況越來越突出,對(duì)環(huán)境安全構(gòu)成嚴(yán)重威脅。迫切需要開發(fā)新一代的先進(jìn)環(huán)保和節(jié)能技術(shù)。等離子技術(shù)已經(jīng)發(fā)展了 100 多年。由于其高溫和豐富的化學(xué)反應(yīng)粒子,等離子體具有非凡的處理能力,近幾十年來被人們用來炸毀各種難以處理的危險(xiǎn)廢物。
與未經(jīng)處理的樣品相比,濺射鍍和電鍍哪個(gè)附著力好PL峰強(qiáng)度增加了71%,等離子體硫鈍化樣品的峰波長(zhǎng)在退火后恢復(fù)。用硫等離子體鈍化 GaAs 樣品不會(huì)造成明顯的雜質(zhì)污染。特別是鈍化效果比較穩(wěn)定,更適合GaAs光電器件的鈍化工藝。使用高頻等離子清洗機(jī)對(duì) GaAs 襯底的表面進(jìn)行硫鈍化處理。射頻等離子體的鈍化效果受基板溫度、濺射功率和劣化溫度的影響。通過優(yōu)化硫等離子體鈍化條件,樣品的PL強(qiáng)度提高了71%,提高了PL穩(wěn)定性。。
在等離子體與材料表面相互作用的過程中,濺射鍍和電鍍哪個(gè)附著力好等離子體的基本作用是: 1)與中性氣體分子碰撞高能電子可以打斷化學(xué)鏈,激發(fā)和激活工作氣體,引發(fā)化學(xué)反應(yīng)。 2)等離子粒子被加速到基板并與基板表面碰撞。另一方面,材料表面的原子或基團(tuán)通過分解、濺射、蝕刻等方式與材料表面分離。 另一方面,通過注入、基團(tuán)轉(zhuǎn)化和聚合,可以通過接枝將新的原子或分子引入材料表面,從而導(dǎo)致材料表面的組成、結(jié)構(gòu)和性能發(fā)生變化。
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效果與特點(diǎn):與傳統(tǒng)的溶劑清洗不同,等離子體是依靠其中所包含高能物質(zhì)的“活化作用”達(dá)到清洗材料表面的目的,清洗效果顯著,是一種剝離式清洗。其清洗優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.清洗后的材料表面基本沒有殘留物,并且可以通過選擇、搭配不同的等離子體清洗類型,產(chǎn)生不同的清洗效果,滿足后續(xù)處理工藝對(duì)材料表面特性的多種需求。
以下物質(zhì)以等離子體狀態(tài)存在:快速運(yùn)動(dòng)的電子、活化的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基)、電離的原子和分子、未反應(yīng)的分子、原子等,該物質(zhì)整體保持電中性。等離子處理器技術(shù)是對(duì)等離子特殊特性的一種具體應(yīng)用。等離子體處理系統(tǒng)通過在封閉容器中設(shè)置兩個(gè)電極以產(chǎn)生電場(chǎng)并使用真空泵來實(shí)現(xiàn)一定程度的真空來產(chǎn)生等離子體。氣體越來越稀薄,分子和離子的分子間距和自由運(yùn)動(dòng)距離越來越長(zhǎng),在電場(chǎng)的作用下相互碰撞形成等離子體。
借助電子的能量,可以獲得更豐富的離子和激發(fā)的高能中性粒子,也可以通過在中性氣體表面吸附電子而獲得負(fù)離子。由于原子分子物理學(xué)中每種氣體都有自己的能級(jí)結(jié)構(gòu),高能電子可以將氣體激發(fā)到不同的能級(jí),當(dāng)氣體分子和原子從高能級(jí)返回到低能級(jí)時(shí),會(huì)發(fā)射出不同能量的光子。代表不同的能量。。等離子蝕刻機(jī)清潔聚合物負(fù)責(zé)表面重組、清潔和改性。等離子刻蝕機(jī)是一項(xiàng)新技術(shù),等離子刻蝕機(jī)可以達(dá)到傳統(tǒng)清洗方法無法達(dá)到的效果。
傳統(tǒng)的工藝是采用有機(jī)化學(xué)液體清洗的方法,但隨著PCB板領(lǐng)域的發(fā)展和擴(kuò)大,PCB板變得越來越小。洞變得越來越小,難度系數(shù)有機(jī)化學(xué)藥水做膠洞越來越大,孔越小,咬數(shù)量也很難操作,這可能會(huì)導(dǎo)致有機(jī)化學(xué)殘留物和干擾后續(xù)過程。蝕刻等離子體清洗機(jī)是干燥的,不會(huì)有有機(jī)化學(xué)殘留物,同時(shí)等離子體的擴(kuò)散選擇性強(qiáng),形成的蝕刻氣相等離子體可以在M類孔上實(shí)現(xiàn)合理有效的蝕刻,蝕刻量也可以根據(jù)工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,獲得有效的控制。
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