氧氣化學(xué)性質(zhì)比較活潑,具有較強的氧化性,氧氣等離子清洗原理主要是通過與污染物發(fā)生氧化反應(yīng)來清洗物質(zhì)表面,實現(xiàn)表面狀態(tài)改性。
宇宙中99.9%的物質(zhì)都處于等離子體狀態(tài),等離子體是宇宙中最常見豐富的可見物質(zhì)形式,包括太陽、恒星、電離層、閃電、極光、星際、高溫火焰等。但是在地球上卻很少有天然等離子體存在,因為地球及其附近大氣的低溫度和高密度阻礙了等離子體的存在。但在地球上層的大氣(電離層)中,存在著由稀薄大氣因光致電離產(chǎn)生的等離子體。在離地球更遠的地方,等離子體在接近真空的空間被地磁場所俘獲。等離子體從太陽流向地球(太陽風(fēng)),并充滿星際空間的許多區(qū)域,從而形成一種被用以觀察更外層空間的介質(zhì)。這就意味著要獲得和研究等離子體及其性質(zhì),必須用實驗裝置的方法來產(chǎn)生它們。最早是在1927年,當(dāng)水銀蒸氣在高壓電場中放電時由科研人員發(fā)現(xiàn)等離子體。后面的發(fā)現(xiàn)是通過多種形式,例如電弧光、激光、石英燈管日光燈管、能源需求的熱核聚變、等離子處理系統(tǒng)等。等離子體的參數(shù)范圍很廣,溫度密度皆跨越了數(shù)個量級。是由部分被電離的原子及原子團(正離子)以及電子組成的離子化氣體狀物質(zhì),整體正負電荷總數(shù)相等宏觀呈電中性。
氧氣等離子清洗原理:
氧氣等離子清洗機的工作原理是在儀器的真空工作系統(tǒng)中通入少量的氧氣,在高壓電場及高頻信號發(fā)生器產(chǎn)生高頻信號的作用下石英管內(nèi)形成強的電磁場,在電磁場作用下氧氣電離形成由活化氧原子、氧離子、氧分子和電子構(gòu)成的混合物,這些混合物就是具有清洗能力的等離子體輝光柱。受力驅(qū)使高速運動的活化氧(活潑的原子態(tài)氧)將有機分子轟擊成小分子片段,隨后這些小分子片段迅速地被氧化成水,二氧化碳等可揮發(fā)性氣體并被機械泵抽走,最終達到清洗效果。
等離子清洗技術(shù)的應(yīng)用始于20世紀(jì)初。隨著電子等行業(yè)的快速發(fā)展,等離子體清洗技術(shù)的應(yīng)用范圍逐漸擴大,在許多高科技領(lǐng)域占據(jù)著關(guān)鍵的技術(shù)地位。目前,等離子體清洗已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光電子行業(yè),并逐步應(yīng)用于光學(xué)工業(yè)、機械工業(yè)、汽車工業(yè)、航空航天工業(yè)、聚合物工業(yè)、污染防治等諸多技術(shù)領(lǐng)域。近年來,等離子體清洗技術(shù)已應(yīng)用于電子元器件制造、LED封裝、IC封裝、多層陶瓷外殼處理、ABS塑料處理、微波管制造、汽車點火線圈骨架清洗和發(fā)動機油封膠處理等領(lǐng)域。24453