因此，電暈機(jī)的功率的選擇在清洗前，可以通過仿真合理選擇所需功率，既滿足經(jīng)濟(jì)要求，又保證清洗效果和清洗效率。（2）等離子清洗機(jī)時間一般來說，既要保證清洗效果，又要花費較少的時間來提高清洗效率，但花費的時間與各種參數(shù)有關(guān)。一般功率越大，清洗時間越短，但耗電量越大。功率的增加會使反應(yīng)室與部件之間的溫度升高，同時還會引起許多其他問題，如部件被損壞、腐蝕等。

只要包裝好，電暈機(jī)的注意功能參數(shù)就可以成為終端產(chǎn)品，然后投入實際使用。LED封裝技術(shù)大多是在分立設(shè)備封裝技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展演變而來的，但它又不同于一般的分立設(shè)備，具有很強(qiáng)的特殊性。它不僅完成輸出電信號、維持管芯正常工作、輸出可見光等功能，還具有電參數(shù)和光學(xué)參數(shù)的設(shè)計和技能要求，不能簡單地為LED封裝分立設(shè)備。

蝕刻工藝在集成電路芯片封裝中，電暈機(jī)的功率參數(shù)不僅可以蝕刻外部的光刻膠，還可以蝕刻底層的氮化硅層。通過調(diào)整真空等離子體刻蝕機(jī)的某些參數(shù)，可以得到特定的氮化硅層形狀，即側(cè)壁刻蝕傾角。氮化硅(Si3N4)是目前最熱門的新材料之一，具有低密度、高硬度、高彈性模量、熱穩(wěn)定性好等特點，在許多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。氮化硅可以在晶圓制造中取代氧化硅。

在穩(wěn)態(tài)下，電暈機(jī)的功率的選擇可以忽略軸對稱、洛倫茲力和軸向熱傳導(dǎo)，在截面上氣體壓力和軸向電場均勻分布的條件下，等離子體發(fā)生器根據(jù)氣體性質(zhì)參數(shù)和管道的幾何形狀簡化磁流體動力學(xué)基本方程，可以計算管道內(nèi)氣體的速度和溫度分布以及電弧參數(shù)。由于電弧內(nèi)電流密度大，等離子體發(fā)生器中往往存在磁流體動力學(xué)效應(yīng)。當(dāng)外磁場或自身磁場較強(qiáng)時，電弧受到洛倫茲力J&乘以；B（J是電流密度，B是磁感應(yīng)強(qiáng)度）。

電暈機(jī)的功率參數(shù)

真空等離子體表面處理設(shè)備的消毒特性1.環(huán)保性，如醫(yī)院臨床常用的雙氧水，經(jīng)射頻電磁場激發(fā)后形成血漿，同時可達(dá)到殺滅（細(xì)菌）的目的，不產(chǎn)生污垢，對環(huán)境不產(chǎn)生二次污染；2.真空等離子體設(shè)備在線測試程序可在啟動和殺菌過程中在線測試程序運行參數(shù)。

在等離子體體系中，等離子體的主要作用是活化甲烷分子形成CHx自由基，自由基的類型和濃度由等離子體源及其能量相關(guān)參數(shù)決定；通過其表面性質(zhì)，可以調(diào)節(jié)自由基在表面的定向復(fù)合反應(yīng)，為自由基復(fù)合傳遞能量。原位發(fā)射光譜可用于診斷常壓甲烷等離子體中激發(fā)活性物種。

1.表面清洗，在真空等離子體腔內(nèi)，通過射頻電源在一定壓力下產(chǎn)生高能無序等離子體，用等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，達(dá)到清洗的目的。2.表面（活性），經(jīng)過等離子體表面處理的物體，表面能增強(qiáng)，親水性強(qiáng)，提高附著力，附著力。3.表面刻蝕：利用反應(yīng)氣體等離子體對材料表面進(jìn)行選擇性刻蝕，刻蝕后的材料轉(zhuǎn)化為氣相，用真空泵排出。處理后的材料微觀比表面積增大，具有良好的親水性。4.納米（米）涂層。

激勵源是為氣體放電提供能量的電源，可采用不同頻率；真空泵的首要作用是清除副產(chǎn)物，包括旋片機(jī)械泵或增壓泵；以及在真空室中具有放電電離的電極。反應(yīng)氣體轉(zhuǎn)化為等離子體，反應(yīng)氣體通常由氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氯化碳等單一氣體，或兩種氣體的混合物組成。等離子體清洗的效果主要取決于許多因素，包括化學(xué)物質(zhì)的選擇、工藝參數(shù)、功率、時間、元件放置和電極結(jié)構(gòu)。

電暈機(jī)的功率的選擇

利用血漿中的活性自由基對材料表面進(jìn)行肝素化或接枝抗血栓官能團(tuán)，電暈機(jī)的注意功能參數(shù)增加材料表面的有效化學(xué)鍵合。材料表面改性的效果由一系列因素決定，包括材料基體的選擇、抗血栓涂層的組成以及改性材料的使用壽命等。動物實驗結(jié)果表明：血漿表面活化改性后，肝素包被的聚氨酯導(dǎo)管在使用30d后未出現(xiàn)蛋白質(zhì)粘附；未包覆肝素的聚氨酯導(dǎo)管經(jīng)血漿表面改性后僅出現(xiàn)少量蛋白質(zhì)附著；但未進(jìn)行等離子表面改性的液體導(dǎo)引管出現(xiàn)了嚴(yán)重的血栓。