但193nm光刻膠的化學成分與248nm光刻膠有很大不同，電池極片等離子體表面清洗機器在惡劣的等離子環(huán)境下其抗蝕刻性較差。減少需要用于保護曝光工藝窗口的 193nm 光刻膠的厚度。在這種情況下，控制柵極圖案尺寸如特征尺寸、線寬均勻性、側壁角度、側壁形狀（凹痕、突起）、線寬粗糙度都是需要嚴格控制的工藝參數。..傳統(tǒng)多晶硅柵極等離子表面處理機的蝕刻所采用的無機硬掩模（通常為氮化硅）蝕刻方式，很容易出現(xiàn)柵極側壁粗糙的問題。
& EMSP; & EMSP; 07 發(fā)動機油封片 & EMSP; & EMSP; 發(fā)動機曲軸油封作為防止發(fā)動機漏油的重要部件，電池極片活化機其重要性越來越受到發(fā)動機制造商的重視。聚四氟乙烯具有耐高溫、耐腐蝕、不粘連、自潤滑等優(yōu)良性能。介電性能和低摩擦系數是目前制作油封的主要材料之一。然而，未經處理的聚四氟乙烯表面活性低，很難與金屬結合。
解壓器的輸出接口推薦使用3/8標準接口。這對于用快速螺紋接頭或雙套圈接頭代替原來的塔式接頭很有用，電池極片等離子體表面清洗機器以確保工藝氣體輸出氣體管道之間的氣密性。等離子清潔器氣體接口。如果使用的工業(yè)氣體是氬氣，建議使用氧氣減壓閥。主要原因是氬氣專用減壓閥的輸出壓力一般為0.15MPa。如果將一種氣體供應給多臺等離子清洗機，則輸出壓力將無法滿足應用要求，設備很容易發(fā)出警報。壓力。
隨著氣體從外界吸收更多的能量，電池極片等離子體表面清洗機器分子的熱運動變得更強，分子的解離成為原子，原子中的電子獲得足夠的能量與電子分離，成為自由電子。氣相電離涉及氣相電離后的大量電子、離子和一些中性粒子（原子和分子）。在這種情況下，電子和離子具有大致相等的電荷，并且在宏觀上或平均而言是電中性的。以水為例。在低于 0°C 的溫度下，水變成固體或“冰”。在 0°C 和 100°C 之間的溫度下，水變成液體，或“水”。
電池極片活化機
要求高可靠性和高生產效率。以及在線表面處理工藝的處理效果。等離子工藝提供的超精細大氣等離子清洗和等離子活化為電子行業(yè)提供了有效的解決方案。噴涂機前對塑料觀察窗部分進行等離子處理，然后用防靜電和防刮花噴劑進行噴涂。等離子清洗技術的使用增加了材料的表面能，使鍍層的分布更加均勻，等離子清洗機不僅創(chuàng)造了無可挑剔的產品外觀，而且降低了制造過程中的廢品率。大大減少。
電池極片等離子體表面清洗機器
